Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
Vendu
ID: 293615241
PVD System Front end metallization.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur très avancé conçu pour les procédés avancés de dépôt de matériaux. Il est capable de déposer divers matériaux tels que du silicium polycristallin, du germanium de silicium, du Pt/Au, de la grille haute k/métal et des couches diélectriques inter-médiates. Il offre une production à haut débit sans ligne de visée de produits de circuits intégrés haut de gamme, offrant un niveau de productivité et de flexibilité sans précédent dans l'industrie des semi-conducteurs. AKT Endura II est un outil de grappes à grande échelle configuré avec jusqu'à quatre réacteurs séparés disposés en configuration X-Y avec jusqu'à 52 vecteurs localisés thermiques. Combiné à la console de contrôle Endura, il permet un dépôt multi-processus robuste et précis de 5 à 500 nm. Le réacteur offre également un nettoyage configurable des plaquettes à haut débit couplé aux procédés. Il a une capacité de processus uniforme, une capacité de source à substrat omnidirectionnelle et des caractéristiques de sécurité complètes. Le réacteur dispose d'une flexibilité de procédé qui permet un contrôle thermique total de la température du substrat aussi bas que 250 ° C et une polarisation du substrat jusqu'à +/- 1000V. Cela permet à son tour de déposer des caractéristiques complexes à haut rapport d'aspect souvent requises par les produits I.C. Il dispose également d'une capacité de modulation rf unique qui permet de moduler en 3D des couches diélectriques et Pt/Au ou d'autres matériaux dans la production d'IG.Il dispose également de trois modules d'injection de gaz interchangeables qui permettent d'ajuster ou de faire varier la chambre de gaz inerte en un seul cycle. AMAT Endura II dispose d'un système fondé sur la décision qui utilise les réactions des capteurs et des outils de diagnostic pour afficher les paramètres du processus et surveiller les informations précieuses sur l'intégrité du système. Cela permet au réacteur de comprendre rapidement et de s'adapter à une gamme de paramètres tels que l'environnement ambiant, la température et la pression. Il aide également à prévenir la survenue de temps d'arrêt en raison de conditions inattendues. Enfin, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II utilise une interface utilisateur intuitive qui intègre des diagnostics virtuels, des réglages de paramètres de processus et plusieurs fonctions de sécurité. Cela aide à rationaliser l'ensemble du processus, le rendant plus simple à utiliser et plus efficace que jamais. Le résultat est un outil polyvalent, flexible et efficace qui réduit considérablement le temps et le travail associés au dépôt de matériaux avancés.
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