Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616611 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura II est une plate-forme de fabrication avancée à haute performance conçue pour les procédés de lithographie, de gravure et de dépôt dans diverses applications. Avec des capacités de production de haute qualité et des fonctionnalités telles que le contrôle automatisé des processus et la surveillance in situ, il a été conçu pour la production multi-empilements à haut volume. AMAT Endura II offre des avancées significatives en termes de débit, de taille de l'appareil et de performances optoélectroniques. Il est équipé de modules de contrôle automatisés pour assurer un contrôle précis et fiable du développement et de la répétabilité de la recette de procédé. Le module APR (Advanced Photoresist Processing) permet une lithographie de moins de 10 nanomètres et le module SWM assure un contrôle précis de la température et de la contrainte sur les grandes plaquettes. De plus, le système de surveillance in situ améliorée (EIS) fournit des données de métrologie in situ avancées. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est construit autour d'une architecture avancée de grappes sous vide. Cette configuration se compose d'un maximum de quatre modules de processus, chacun équipé de plusieurs chambres, dans une unité autonome qui ne nécessite pas d'espace supplémentaire pour l'armoire. Cela augmente le débit et réduit les coûts de maintenance tout en fournissant des résultats de haute qualité. La chambre principale du système est équipée d'une grande variété de sources de plasma, y compris des sources de radiofréquences (RF), de résonance cyclotron électronique (ECR) et de sources de plasma à couplage inductif (ICP), et d'impulsions nanosecondes. Les sources de plasma permettent l'application de revêtements, de gravures et de processus de nettoyage pour permettre la création de structures complexes et avancées. Endura II dispose également d'une conception d'alimentation avancée qui intègre un filtre capacitif et un amplificateur linéaire pour fournir une alimentation haute tension et à faible ondulation. Cela permet un contrôle précis de l'énergie du faisceau d'ions et du débit de dose pour améliorer la non-uniformité, la répétabilité et le rendement. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II est conçu pour une commodité d'utilisation maximale avec une suite flexible qui permet des recettes de processus, des recettes basées sur des données complexes avant et après le processus, et la capacité de programmer des recettes pour fonctionner hors ligne. L'ensemble d'outils d'analyse des données de processus permet une analyse post-traitement approfondie tandis que la suite de contrôle matériel permet une personnalisation spécifique de la recette et le contrôle du matériel. Le système dispose également d'une base de données intégrée sur les recettes, dans laquelle les utilisateurs peuvent stocker et rappeler les recettes pour assurer des résultats cohérents entre les différents processus. Dans l'ensemble, AMAT Endura II est une plate-forme de fabrication puissante et avancée conçue pour des processus de gravure, de lithographie et de dépôt exigeants. Grâce à ses capacités avancées de contrôle des processus, de surveillance in situ et de contrôle automatisé des recettes, il fournit des résultats de haute qualité et une amélioration de la taille des appareils et des modèles. La suite de flexibilité et le contrôle matériel permettent également aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour améliorer la précision et le débit.