Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293624638 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement Endura II est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé dans les industries de fabrication de semi-conducteurs et de films diélectriques, fournissant des résultats précis et reproductibles. AMAT Endura II est une solution performante, fiable, économique et utilisable dans de nombreuses applications. Il dispose de plusieurs fonctionnalités, dont une interface utilisateur intuitive avec écran tactile, des chauffages solides pour un contrôle précis de la température, une grande variété de boîtiers de gaz installés avec différentes options d'entrée de gaz, et la capacité d'ajuster la température, la pression et le débit de gaz rapidement et précisément. Pompé à partir des alimentations en gaz, le flux de gaz réactifs est contrôlé par les contrôleurs électroniques de débit de masse (MFC) d'Endura II. Les MFC permettent un contrôle précis des débits calibrés avec précision pour toute une gamme de gaz réactifs, ce qui permet un contrôle précis de la pression, de la température et de la concentration de gaz à l'intérieur du réacteur. Les gaz réactifs et les gaz d'échappement sont laminés à travers une ligne d'échappement commune et des vannes d'échappement et d'étranglement RotaFlow (RFTV) sont utilisées pour contrôler les gaz d'échappement. Endura II utilise un système de contrôle thermique unique qui se compose de trois zones isolées thermiquement sur le substrat porte-substrat. L'une de ces zones, la zone de dépôt, est utilisée pour des températures de processus allant jusqu'à 800 ° C. Les deux autres zones sont utilisées pour le préemballage et le refroidissement du porte-substrat avant et le redéposage des substrats après le procédé de dépôt. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La chambre principale de l'unité Endura II est un acier inoxydable de haute qualité et est complètement isolée de l'environnement extérieur, éliminant le besoin d'une machine à vide pour maintenir une grande pureté tout au long du processus. Pour assurer un contrôle précis du processus, AMAT Endura II utilise un contrôleur avancé et une boucle de rétroaction qui assure un suivi en temps réel des paramètres du processus. Divers capteurs sont installés sur l'outil Endura et des échantillons sont prélevés tout au long du processus de dépôt, fournissant des données qui peuvent être utilisées pour ajuster les conditions du processus et maintenir un contrôle étroit du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif Endura II est également équipé d'un laveur Venturi et d'un comburant catalytique pour purifier les gaz d'échappement et éliminer les sous-produits de procédé avant l'échappement. Cela garantit qu'aucun sous-produit ou contaminant du procédé ne peut échapper au modèle et que l'environnement du procédé est maintenu pur. Dans l'ensemble, l'équipement Endura II est un outil de dépôt CVD fiable et fiable, qui fournit des résultats précis avec un niveau maximum de répétabilité. Il est équipé de systèmes de contrôle et de surveillance efficaces et offre un degré considérable de flexibilité et d'adaptabilité pour obtenir des résultats de dépôt optimaux.