Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293640653 à vendre en France

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est une chambre de réaction de type batch avec des capacités de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) renforcée par plasma, conçue pour déposer une variété de couches minces, y compris des diélectriques, des métaux et des semi-conducteurs. Ce réacteur fonctionne dans des conditions à la fois atmosphériques et sous vide, ce qui le rend adapté à toute une gamme d'applications. L'AKT Endura II se compose d'une chambre de réaction, d'une alimentation RF (pour les procédés CCVD), d'une alimentation par polarisation, d'un équipement de séquençage du gaz, d'un système à vide et d'une unité d'acquisition de données. La chambre de réaction AMAT Endura II est en acier inoxydable et est équipée d'entrées filetées hors axe pour une distribution uniforme des réactifs. Il a un volume de 20,7 litres et une gamme de pression de 0,001 à 1,00 Torr avec une pression de base supérieure à 3x10-6 Torr. Sa température maximale est de 600 ° C avec une alimentation régulée de 6 kW. L'alimentation RF est capable de produire des fréquences de 0,3 à 300 MHz, avec une puissance maximale de 1000 kW. De plus, 4 sources d'énergie programmables permettent un contrôle indépendant de la puissance de l'anode et de la cathode. L'alimentation par polarisation est conçue pour étendre le contrôle du processus au-delà du fonctionnement classique à quatre quadrants jusqu'à huit quadrants. L'alimentation en polarisation offre un contrôle indépendant de la sonde de polarisation, de la cathode et de l'anode. Endura II utilise un séquenceur à six gaz qui contrôle jusqu'à six entrées de gaz, permettant d'exécuter des processus complexes avec plusieurs précurseurs de gaz. La machine à vide se compose d'une pompe d'appoint et d'une pompe turbomoléculaire à vide élevé, produisant jusqu'à 8e-7 Torr pression de base. Pour surveiller les données de processus, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est équipé d'un outil d'acquisition de données pour la collecte, le traitement et l'affichage des données opérationnelles. L'actif d'acquisition de données comprend la surveillance de l'état/alarme, le logiciel RCP et les fonctions intégrées de contrôle/puissance/polarisation. Dans l'ensemble, AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un outil de traitement haute performance équipé d'une gamme de caractéristiques permettant de contrôler avec précision le dépôt de couches minces. Sa capacité en mode atmosphère et vide, l'alimentation RF, l'alimentation par polarisation, le modèle de séquençage du gaz, l'équipement sous vide et le système d'acquisition de données, se combinent pour fournir une unité fiable et efficace pour de nombreux processus de dépôt de couches minces.