Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293761335 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA II est un réacteur épitaxié monobloc vertical utilisé pour la croissance de nanostructures à la surface de plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour produire les dispositifs semi-conducteurs les plus performants tels que les dispositifs RF et optoélectroniques. L'AKT Endura II se compose d'une chambre à vide, de multiples zones de contrôle de température, de puissants atomiseurs centrifuges pour la vaporisation des matériaux sources et d'un équipement de distribution de gaz réactif unique. AMAT Endura II peut accueillir jusqu'à six wafers par course, et le processus est contrôlé par un système de rétroaction en boucle fermée éprouvé. La chambre à vide est conçue pour atteindre une pression de fonctionnement de 1 mbar ou moins. L'unité est équipée d'un chauffage puissant, qui peut être réglé automatiquement tout au long du cycle de processus. Les profils de température au sein des zones peuvent être fixés indépendamment de -100 à 1000 ° C Il est également équipé de quatre sources radiales indépendantes d'atomiseurs RF pour le dépôt de composés sur les surfaces des plaquettes. Endura II dispose également d'une machine de distribution de gaz réactif unique. L'outil comprend un régulateur de débit massique activé RF, qui permet à l'utilisateur de contrôler et d'ajuster avec précision la pression du gaz pour optimiser le processus. L'actif de la vanne de gaz activée par RF aide également à contrôler les gradients de pression et la dynamique de débit à l'intérieur de la chambre. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est également livré avec un modèle de rotation de plaquettes haut de gamme. La vitesse de rotation peut être réglée de 0 à 750 tr/min et les plaquettes peuvent être soumises à des forces centrifuges allant jusqu'à 1000 forces gravitationnelles. Cela permet une uniformité complète du processus sur l'ensemble de la plaquette. En plus de ces caractéristiques, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II dispose également d'une variété de caractéristiques de sécurité telles qu'un équipement de surveillance des gaz, des fonctions de refroidissement et des capteurs basse pression. En outre, ils tirent parti d'une architecture de processus intelligente qui permet de stocker et d'analyser les données de plusieurs plaquettes pour l'analyse statistique. AKT Endura II est certifié pour les processus SEMI Standard S2 et S3, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.