Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293811396 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour effectuer divers dépôts avancés en couches minces. L'équipement combine les performances éprouvées de la plateforme Endura avec les capacités de fabrication à grande échelle d'AKT. AKT Endura II est construit avec une conception planaire pour assurer les niveaux les plus élevés d'uniformité et de répétabilité des processus. Les systèmes en acier inoxydable, gaz inerte et soupapes AMAT Endura II sont conçus pour permettre un contrôle précis de la température, de la pression et du débit dans la chambre du réacteur. Le système repose sur des techniques avancées de génération de plasma breveté pour permettre la production précise de couches d'épitaxie, de nitrure et d'oxyde, ainsi que d'autres dépôts complexes de couches minces. Endura II dispose d'une unité de refoulement de gaz qui permet le refoulement de gaz mélangés ou multiples dans la chambre du réacteur. Il est capable de déposer des matériaux tels que le silicium, les composés III-V, les métaux de transition, les terres rares, les oxydes, les nitrures, les composés organiques et les polymères avec un excellent contrôle et uniformité. Utilisant l'option plasma basse énergie, la machine est bien adaptée au dépôt de films doux tels que des couches de diélectrique et de passivation. L'outil est entièrement automatisé et dispose d'un atout d'autodiagnostic pour détecter les problèmes potentiels avec le processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II peut être configuré avec une gamme d'options, y compris les cloisons chauffantes, la manutention multiple des plaquettes, les serrures de transfert des plaquettes, et le support de cassette/tour pour le transport des plaquettes. Ces options réduisent le temps de chargement du substrat et augmentent le débit global du modèle. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est conçu pour une intégration facile dans un environnement de salle blanche et est capable de fonctionner en série ou en production continue. L'équipement est construit selon une conception modulaire qui permet une expansion facile et la personnalisation du processus. AKT Endura II offre un meilleur contrôle du processus de dépôt, offrant d'excellents rendements et une répétabilité. Le système fournit une plate-forme fiable et rentable pour les applications de dépôt de couches minces à grande échelle.
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