Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293814085 à vendre en France
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ID: 293814085
Style Vintage: 2018
Physical Vapor Deposition (Pvd) System, 12"
(4) Aluminum Nitride (AlN) Physical Vapor Deposition (PVD) process chambers
(1) Degas chamber
(1) Pre-clean chamber
2018 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor est un équipement de pointe pour l'intégration de procédés et la production de dispositifs semi-conducteurs. Le système permet d'intégrer les opérations de dépôt, de gravure et de métrologie dans une plate-forme de réacteur très compacte et efficace. L'unité dispose d'une géométrie d'enveloppe unique qui utilise une plate-forme de chargement de plaquettes unique ou double pour permettre le chargement simultané de deux plaquettes de 100mm ou 125mm pour le traitement. Cela permet de réduire considérablement les temps de cycle, d'améliorer la productivité et d'augmenter le rendement d'une empreinte plus faible que les systèmes traditionnels. Le réacteur AKT Endura II est équipé d'un chargeur de plaquettes 1x avancé, ainsi que de multiples fentes de stockage de plaquettes pour les deux wafers de procédé ainsi que les métaux baymentés. La machine est conçue pour les procédés de fabrication d'IC, tels que la pulvérisation, l'implantation d'ions, la gravure et le dépôt. Il dispose également d'un nouvel outil de chargement qui permet un chargement rapide et efficace des plaquettes de 100mm et 125mm, ainsi qu'une nouvelle conception de chambre qui donne la priorité à l'uniformité et à la répétabilité des processus. AMAT Endura II est alimenté par la technologie AMAT Precision Motorized Batch (PMB), offrant une excellente répétabilité des processus et un contrôle serré des processus. Il dispose également d'une suite complète de logiciels de contrôle de processus comprenant un actif semi-automatisé d'alignement de plaquettes, contrôle du vide, et plusieurs recettes de processus. Le modèle dispose également de multiples options de mise à niveau matérielle et d'outillage personnalisé, permettant une flexibilité de processus encore plus grande. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est la solution idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs à haut débit et à haut volume. Il dispose d'une large gamme de recettes de processus et d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser, permettant aux ingénieurs de processus de développer rapidement et efficacement des recettes pour diverses exigences de fabrication IC. Le réacteur est également conçu pour être facilement intégré à la fois dans les installations de salles blanches traditionnelles et les chaînes de production fab avancées, ce qui permet une intégration transparente dans les environnements de fabrication existants.
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