Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270 à vendre en France
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ID: 293815270
Taille de la plaquette: 12"
Physical Vapor Deposition (PVD) System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur avancé à dépôt chimique en phase vapeur enrichi par plasma (PECVD). Il est conçu pour le dépôt de couches minces diélectriques avancées, y compris des matériaux haut-k et bas-k. L'AKT Endura II offre des performances de haut niveau grâce à sa combinaison d'une tête de douche à entraînement direct, d'un contrôle multipoint avancé et de systèmes de confinement avancés. AMAT Endura II dispose d'une tête de douche à entraînement direct de haute précision, qui permet un dépôt uniforme sur de grandes surfaces d'échantillons. Il dispose également d'un système de contrôle multi-points, qui permet de contrôler précisément les dépôts en plusieurs points, ce qui conduit à des profils de dépôt uniformes. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le système de confinement avancé d'Endura II offre un excellent contrôle des émissions, offrant une protection environnementale supérieure. Endura II est capable d'effectuer un dépôt à la fois sous vide et sur pression, permettant le dépôt d'une large gamme de matériaux. Ses capacités de dépôt comprennent à la fois des matériaux diélectriques à haut k et des matériaux à bas k, ce qui permet aux utilisateurs de déposer une variété de films complexes. Le réacteur est également capable d'effectuer des dépôts à haute vitesse, avec la capacité de fournir jusqu'à 80 nm de vitesse de dépôt de cuivre. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II offre un excellent contrôle des processus. AKT Endura II utilise un contrôleur de débit massique (MFC) de haute précision pour contrôler précisément le débit et assurer un contrôle précis du processus. De plus, le réacteur est équipé d'un générateur RF intégré, qui peut être utilisé pour contrôler les paramètres plasmatiques lors du dépôt PECVD. AMAT Endura II est également très compatible avec le logiciel de contrôle des processus de l'entreprise. Ce logiciel fournit aux utilisateurs une surveillance et un contrôle détaillés du processus, permettant un contrôle complet des paramètres de dépôt du réacteur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est un réacteur avancé PECVD conçu pour offrir un dépôt précis de diélectriques haut et bas k. La tête de douche à entraînement direct du réacteur, le contrôle à plusieurs points avancé et les systèmes de confinement avancés sont tous conçus pour offrir des profils de dépôt et une protection de l'environnement supérieurs. Le réacteur est capable d'effectuer un dépôt à haut débit, ainsi qu'en mode vide et surpression. De plus, son générateur RF intégré et son logiciel de contrôle des processus offrent une surveillance et un contrôle précis des processus.
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