Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815284 à vendre en France
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ID: 293815284
Style Vintage: 2017
Physical Vapor Deposition (PVD) system
XU-ACP130-A15 Prealigner & centering module
XU-RC350S Automated Teller Machine (ATM) robot
NXC100 Controller
XU-ACL4230 Linear track module
(3) Front Opening Unified Pod (FOUP) load ports
Gray platform type
Chamber Positions:
Chamber 1: VERSA TiN
Chamber 2: HT AL
Chamber 3: HT AL
Chamber 4: VERSA TiN
Chamber 5: HT AL
Chamber 6: HT AL
Chamber 7: VERSA TiN
Chamber 8: DMD
Chamber F: DMD
MF Robot: XP
NSK Robot controller, ceramic blade
CF Config: Dual Pass
Standard loadlock type
Gray loadcenter type:
0190‑48620 DI Cooler
Cryo compressor, 208V
Line frequency: 50-60 Hz
Line voltage: 208V / 480V
UPS
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un équipement puissant et polyvalent de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour fournir des résultats fiables et précis. Il s'agit d'une chambre cylindrique verticale en acier inoxydable avec doublure réfractaire et entourée d'une enveloppe isolée. Cette veste prévient la perte de chaleur et de pression et améliore le contrôle des processus. Le réacteur est équipé d'une chambre étanche, d'entrées et de sorties de gaz et d'un système de chauffage électrique. La connexion d'entrée de gaz permet l'installation de plusieurs conduites de gaz qui peuvent être commandées individuellement, permettant à l'utilisateur de choisir différentes concentrations et températures de gaz. Le réacteur AKT Endura II est capable de produire des films minces de qualité, tels que des nitrures métalliques, des matériaux similaires au diamant et au diamant (DLC) et des oxydes métalliques. Il peut être utilisé dans divers procédés de CVD tels que l'augmentation ou la diminution de l'épaisseur du film, le traitement post-CVD et le refroidissement. L'unité de chauffage électrique intégrée permet un réglage précis de la température et de la stabilité, ce qui la rend idéale pour maintenir une plage de température basse constante pour un dépôt optimal de diamant et de nitrure. La température dans le réacteur est surveillée et peut être ajustée automatiquement, ce qui permet à l'utilisateur de choisir des profils de température et de température spécifiques pour contrôler la vitesse de dépôt et la morphologie. AMAT Endura II a un design unique qui le rend très efficace et économique. La machine d'échappement intégrée permet une évacuation rapide et efficace des gaz de la chambre, ce qui entraîne une purge rapide et une mise en place élevée. L'outil sous vide permet une préparation aisée du substrat par une combinaison de cuisson, d'aération et de dégazage. Pour un contrôle ajouté du procédé, la température du substrat peut être mesurée avec un thermocouple. Endura II est un outil sûr et fiable pour les processus CVD. Ses caractéristiques aident à minimiser la corrosion et la contamination des particules, et la chambre est équipée de capteurs pour détecter les gaz et les sons potentiellement dangereux. Des résultats de haute qualité et rentables sont facilement réalisables avec ce réacteur intelligent et efficace.
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