Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9130290 à vendre en France

ID: 9130290
Pre clean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un outil de gravure plasma de haute précision conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé pour la gravure-dépôt et d'autres procédés de gravure de plaquettes et de couches minces. L'équipement AKT Endura II offre la plus grande uniformité de gravure avec des taux de gravure extrêmement bas. Il fournit également le contrôle le plus précis de la profondeur de gravure et de la forme. L'outil utilise une technologie avancée de contrôle des procédés avec l'utilisation d'une source de plasma d'azote afin de fournir un contrôle de gravure précis et des résultats cohérents. Le système est divisé en trois domaines différents : la zone de refroidissement, la zone plasma et la zone de gravure. La zone de refroidissement est chargée de contrôler la température dans la zone de gravure afin d'obtenir la vitesse de gravure optimale. La zone plasma contient la source d'azote et les systèmes de contrôle des gaz utilisés pour produire le plasma. Enfin, la zone de gravure est celle où le processus de gravure a effectivement lieu. L'unité AMAT Endura II utilise la technologie du vide pour contrôler les paramètres du processus et assurer la précision. Il permet de contrôler étroitement les variables de processus telles que le débit d'oxygène, la concentration de gaz et la pression. Pour améliorer l'uniformité et la précision des gravures, la machine met également en œuvre une source E-Beam automatisée. La source permet à l'outil de contrôler avec précision l'énergie de bombardement ionique et la vitesse de gravure sur différents substrats. L'outil offre également un large éventail de capacités de surveillance et de diagnostics. Cela permet aux opérateurs de mieux comprendre le processus de gravure et d'identifier les problèmes éventuels. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif Endura II a la capacité de surveiller divers paramètres de processus tels que la pression totale, la puissance radiofréquence et la tension de charge. Le modèle est également équipé d'une consigne d'alarme programmable et d'un équipement d'autodiagnostic pour alerter l'utilisateur de toute anomalie. Le système Endura II est un outil très précis qui est parfait pour une production à haut volume. Il offre une grande uniformité de gravure/dépôt et la capacité de surveiller et de contrôler une variété de paramètres de processus. Il comprend également des diagnostics intégrés pour aider à identifier et corriger tout problème au cours du processus de gravure. De plus, l'unité AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est conçue pour s'intégrer à d'autres processus et maximiser ses capacités de gravure.
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