Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
Vendu
ID: 9156594
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2016
Advanced low pressure source (ALPS) ESI chambers, 12" Process: METAL 2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est une plate-forme de réacteur polyvalente et multi-outils idéale pour l'intégration et la mise à l'échelle des procédés dans les environnements de salles blanches à semi-conducteurs, emballages avancés, MEM et opto-électronique. Cette solution de nouvelle génération est dotée d'une architecture innovante et évolutive conçue pour offrir précision, évolutivité et efficacité accrue pour des processus avancés à haut débit. Le réacteur AKT Endura II est doté d'une conception modulaire de chambre multi-processus associée à une solution robotique automatisée permettant jusqu'à 8 ports de chargement. La plate-forme de réacteur polyvalente offre un large choix de tailles de plaquettes et de capacités de traitement, y compris : gravure, dépôt, recuit, reformage à sec, procédés ALD personnalisés, distribution de source/puissance de plasma et développement de recettes de procédé. Chaque port peut supporter plusieurs processus tels que la gravure avec dépôt de couche atomique (ALD), gravure/dépôt et recuit/dépôt. La solution robotique intégrée permet un chargement/déchargement rapide et efficace des substrats traités de chaque port. L'équipement avancé de contrôle des processus d'AMAT Endura II est équipé de stratégies avancées de contrôle des processus collaboratifs (CPC) pour accélérer le développement des processus avancés et optimiser l'efficacité des processus. CPC utilise de nombreux algorithmes d'automatisation et de logique d'opérateur pour améliorer la qualité des produits, stabiliser les états de processus transitoires et surveiller les mesures des processus pour aider à atténuer la non-uniformité. La station centrale de contrôle des processus offre également une interface utilisateur intuitive assurant une courbe d'apprentissage facile et un transfert rapide des produits. L'architecture d'encastrement ouverte d'Endura II offre une sécurité sans pareil contre les manipulations. Le système est équipé d'embouts d'arrêt de sécurité, une unité d'échappement conforme à la réglementation de sécurité actuelle, et est entièrement compatible avec les codes de notification NFPA avec une machine brevetée d'arrêt de flamme. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II offre une vaste gamme de chambres de procédés, d'armoires d'alimentation et de régulateurs de température multi-zones, ainsi qu'une variété de sources de gaz de procédés in-situ et ex-situ, d'alimentations RF et de composants pour offrir une plus grande polyvalence pour les besoins de traitement personnalisé. La configuration adaptable du substrat et de l'outillage de procédé offre un degré de précision amélioré pour le traitement distribué, tout en offrant des capacités de verrouillage de charge pour la montée en température dynamique sans UV, et des temps de processus prolongés. En conclusion, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II fournit une plate-forme de réacteur efficace et évolutive idéale pour une gamme de procédés avancés de semi-conducteurs, de MEM et de salles blanches opto-électroniques. Sa conception modulaire de chambres multi-processus, son contrôle des procédés de pointe et ses solutions de sécurité inviolables améliorent la sécurité des procédés et des utilisateurs, leur efficacité et leur évolutivité pour toutes les applications de fabrication.
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