Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9161793 à vendre en France

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ID: 9161793
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2016
Chamber, 12" Software OS: Windows 2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor est une installation d'implantation ionique en plein champ développée pour fournir des performances inégalées pour la production de microélectronique. Le réacteur AKT Endura II offre des performances supérieures pour les dispositifs à couche contrainte SUPERLATTICE (SLS) et les dispositifs à transistor à effet de champ à jonction basse tension (LVJFET). Cet équipement est conçu pour offrir la plus grande uniformité d'énergie ionique et de fluence pour le dépôt d'azote et d'arsenic. La chambre du réacteur AMAT Endura II est constituée d'une cathode de type graphite et d'un système d'anode en aluminium. Cette combinaison de matériaux améliore la stabilité thermique, assure une résistivité élevée et minimise la pulvérisation. L'unité de diffusion de gaz utilisée pour la source d'ions est conçue pour éliminer la contamination par d'autres gaz et offrir une source cohérente et homogène de gaz. De plus, la machine de chauffage cathodique est conçue pour minimiser les fluctuations de température, assurant la présence d'électrons de faible énergie pour une meilleure radicalisation des ions. Pour améliorer le débit et prolonger la durée de vie des cibles, le réacteur Endura II de APPLIED MATERIALS dispose d'une optique en réseau à haute température, conçue pour réduire les distorsions de l'imagerie électronique et des particules et améliorer la qualité du profil du faisceau d'ions plasmatiques. Il dispose également d'un outil automatisé de fluctuation des gaz avec un col d'alignement pour réduire le décalage du faisceau d'ions dû aux changements de position du filament. Cet atout est conçu pour maintenir une distribution de faisceau uniforme sur la cible, permettant une uniformité optimale de la couverture de la zone d'implantation. Le réacteur Endura II dispose également d'une technique de mesure de rétrodiffusion à haute résolution dans le modèle pour calculer avec précision la posologie, ce qui réduit le risque de défaillance de l'appareil. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II dispose également de systèmes robustes de contrôle et de surveillance des équipements, permettant aux techniciens de suivre et de contrôler avec précision les paramètres d'implantation. Cela comprend un système de dérivation pour un contrôle strict des flux de gaz, ainsi qu'un module intégré de contrôle haute tension pour un contrôle précis de la tension d'accélération, et un module intégré de contrôle de balayage qui collabore avec les systèmes internes pour contrôler avec précision la vitesse de balayage et les arrêts d'impulsions. AKT Endura II Reactor est une installation avancée d'implantation ionique conçue pour la production de microélectroniques à haute performance. Cette unité comprend des matériaux robustes et des commandes complètes de machines pour garantir une répartition uniforme des ions sur la cible, ainsi que des systèmes de diffusion de gaz isolés pour des profils de faisceaux d'ions cohérents. Cela permet à l'outil d'offrir des performances supérieures pour la fabrication d'appareils SLS et LVJFET.
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