Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198082 à vendre en France

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ID: 9198082
Taille de la plaquette: 12"
PVD System, 12" SIP/TI Chamber only SIP.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor est un équipement de pointe de dépôt chimique en phase vapeur conçu pour la production rapide de matériaux électroniques de haute qualité. Ce réacteur est capable de production à l'échelle commerciale et dispose de l'enclave thermique atmosphérique (ATE) leader de l'industrie qui fournit une uniformité inégalée et un rendement de produit supérieur. Le système ATE utilise quatre zones de chauffage électroniques indépendantes avec un contrôle précis du gaz, du chauffage et du refroidissement. Cela garantit des températures uniformes jusqu'à 120 ° C et des débits de gaz jusqu'à 60 litres par minute (L/min). L'unité ATE a également une concentration de gaz réactifs qui varie continuellement afin d'optimiser le processus de dépôt, ce qui entraîne le dépôt de la plus haute qualité d'une grande variété de matériaux, y compris les métaux, les oxydes et les nitrures. Le réacteur AKT Endura II dispose également d'un profilage à l'état final en 3 dimensions. Cette capacité unique utilise des systèmes de chauffage en terrasses avec un contrôle d'uniformité supérieur. Cela permet à l'utilisateur de définir des profils d'état final pour des besoins de température exacts avec des rampes souples jusqu'aux conditions ambiantes. Pour le dépôt parallèle de matériaux distincts, le réacteur AMAT Endura II comprend également jusqu'à quatre séparateurs mécaniques pour diviser les flux gazeux entre deux réacteurs ou plus. Ceux-ci assurent un contrôle indépendant de la température, permettant au réacteur de produire également des dizaines de matériaux différents en une seule fois. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura II dispose également d'une machine de contrôle de débit massique embarquée qui est capable de contrôler les flux inertes et réactifs. Il utilise quatre régulateurs de débit massique de haute précision ainsi qu'une vanne de contrôle de pression pour réduire la pression de la chambre de processus. L'outil de mélange de réactifs embarqué permet également à l'utilisateur de contrôler avec précision les vitesses de réaction des gaz. Le réacteur Endura II assure un contrôle supérieur de la distribution granulométrique sur une gamme de matériaux allant de l'échelle nanométrique au micron. Il dispose d'un auto-échantillonneur qui prélève automatiquement des échantillons en plusieurs endroits à l'intérieur du réacteur. Ceci permet à l'utilisateur d'obtenir des données de caractérisation sur la qualité du matériau produit. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un atout de pointe capable de produire un large éventail de matériaux avec un contrôle de qualité exceptionnel à l'échelle commerciale. Ce modèle permet de s'assurer que les rendements de production les plus élevés sont atteints et que les matériaux produits répondent aux normes de qualité les plus élevées.
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