Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9198255 à vendre en France
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Vendu
ID: 9198255
Style Vintage: 2009
PVD System
Process:
W(DC)
TiN(DC)
Si(RF)
Configuration:
Process tool:
FI
(3) Load ports
Endura main frame
Load lock A/B(LLA/LLB)
Degas chamber(CHE)
Versa Ti/TiN chamber (CH1)
Versa W/WN chamber (CH2)
RF PVD Si chamber (CH4)
Sub tools:
Primary AC box / Rack
Power rack:
Power supply
(3) Controllers
(2) Cryo compressors
Cooling chiller (Heat exchanger)
Dry pump (EBARA, 80WN x2, 20N x1)
Sub tools:
Qty / Make / Model / Part number / Description / CH
(6) / BROOKS / CTI-CRYOGENICS / IS 8F / / Cryopump / Buf/Tr/E/1/2/4
(2) / BROOKS / CTI-CRYOGENICS / IS-1000 / 0190-19395 / Cryocompressor / -
(2) / EBARA / ESR 80WN / / Drypump / System/LL
(1) / EBARA / ESR 20N / / Drypump / CHE
(1) / DAIKIN / - / 0190-25358 (Rev02) / Chiller / -
(1) / ADVANCED ENERGY / Pinnacle / 0190-34646W / Power supply 20kW DC / CH1
(1) / OPTIMA / MKS DCG-200Z / 0190-26736101 / Power supply 10kW DC / CH2
(1) / ENI / GHW-12Z / 0190-25529W / Power supply / CH2
(1) / OPTIMA / MKS DCG-200Z / 0190-32405 / Power supply 5kW DC / CH4
(1) / COMDEL / CB3500 / 0190-38882 / Power supply 3500W RF / CH4
(1) / ASSEMBLY / HY-11 / 0010-25739 / Magnet 300MM DS-TTN / CH1
(1) / - / - / 0010-46871 / Magnet assy, 50M,LRW,300MM PVD / CH2
(1) / ASSEMBLY / Magnet / 0010-48649 / Magnet, 300MM, RF PVD / CH4
Parts list:
Chamber-1 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0020-91244 / Shield, 1-piece / Versa TTN
(1) / 0020-93555 / Ring, cover / Versa TTN
(1) / 3690-01847 / SCR CAP / Versa TTN
(1) / 0045-00250 / Matched pair / Versa TTN
(1) / 0021-26896 / Disk shutter / Versa TTN
(1) / 0200-05044 / Ring, deposition / Versa TTN
Chamber-2 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0021-64644 / Shield, 1-piece / Versa WWN
(1) / 0200-06870 / Ring, deposition / Versa WWN
(1) / 0021-32761 / Ring, cover / Versa WWN
(1) / 0021-26896 / Disk shutter / Versa WWN
Chamber-4 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0021-53619 (Rev03) / Shield, 1-piece / RF Si
(1) / 0200-07582 (Rev05) / Ring, deposition / RF Si
(1) / 0021-54932 (Rev04) / Ring, cover / RF Si
(1) / 0021-26896 (Rev03) / Disk shutter / RF Si
(1) / 0020-07884 (Rev02) / Insulator source shield / RF Si
(1) / 0041-25800 (Rev02) / Ring spacer / RF Si
Target:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / D0190-23987003 / END TI16.008-1T-0P / Versa TTN
(1) / NMJ-14040801-HL4 / END-W16411-0309T-DB / Versa WWN
(1) / D0190-3376702 / - / RF Si
Endura spare parts:
Chamber-1 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0020-91244 / Shield, 1-piece / Versa TTN
(1) / 0020-93555 / Ring, cover / Versa TTN
(1) / 0021-26896 / Disk shutter / Versa TTN
(1) / 0200-05044 / Ring, deposition / Versa TTN
Chamber-2 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0021-64644 / Shield, 1-piece / Versa WWN
(1) / 0200-05896 / Ring, deposition / Versa WWN
(1) / 0021-32761 / Ring, cover / Versa WWN
(1) / 0021-26896 / Disk shutter / Versa WWN
Chamber-4 process kit:
Qty / Part number / Description / CH
(1) / 0021-87836 (Rev2) / Straight shield extended 190mm spacing / RF Si
(1) / 0200-08030 / Insulator source shield / RF Si
(1) / 0021-80310 / Cover ring / RF Si
(1) / 0200-12296 / Depo ring / RF Si
(2) / 0021-26896 / Shutter disk / RF Si
(1) / 0041-29007 / Spacer ring / RF Si
(6) / 3690-01929 / SCR CAP SKT HD / RF Si
(6) / 3690-02288 / SCR CAP SKT HD / RF Si
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II portera l'ingénierie des réacteurs complexes sur mesure à un tout nouveau niveau. Cette plateforme polyvalente et puissante peut gérer une grande variété de processus différents, permettant à nos clients d'optimiser les ressources et de maximiser la productivité. AKT Endura II offre un système de fabrication parfait pour l'usine d'aujourd'hui, avec des performances exceptionnelles dans la complexité, la qualité et la sécurité des processus. AMAT Endura II possède plusieurs caractéristiques qui le distinguent de la compétition. Il dispose de composants standards tels qu'une chambre de blindage, une source de vide, des pompes à vide, un capteur de température, des thermocouples, des conduites de gaz de procédé, une vanne de gaz, un contrôleur, et plus encore. De plus, cette plateforme vous permet de personnaliser la configuration pour répondre aux besoins uniques de tout processus avancé. En outre, Endura II répond aux normes élevées de l'industrie en termes de propreté, de contrôle de la contamination et de transfert de chaleur. Ce réacteur avancé est idéal pour de nombreuses applications dans les procédés de semi-conducteur, de recuit, de refusion et de revêtement diélectrique. En ce qui concerne les procédés semi-conducteurs, les MATÉRIAUX APPLIQUÉS ENDURA II excellent dans l'établissement des conditions essentielles à la formation de la structure du dispositif. Il est également habile dans l'optimisation du dispositif et l'amélioration du rendement. En outre, grâce à sa vaste gamme de matériaux et d'options, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II peut vous aider à optimiser l'homogénéité de votre substrat, les caractéristiques électriques et d'autres exigences de processus. AKT Endura II excelle également dans les procédés de recuit. Il est conçu avec une méthode efficace de création de profils de chauffage spéciaux qui fournissent une excellente uniformité sur l'ensemble de la machine. Cela aide à créer des caractéristiques électriques cohérentes et des rendements élevés. En outre, AMAT Endura II est bénéfique pour améliorer les résultats de recharge, fournissant un chauffage fiable et lisse des éléments de four. Endura II offre également des capacités de revêtement diélectrique exceptionnelles. Il est conçu avec un haut niveau de précision et de précision, permettant un revêtement précis et répétable des surfaces de substrat. Il est également capable de créer des conditions optimales pour la diffusion et l'utilisation de la surface, tout en évitant l'accumulation d'une contamination excessive des films et des particules. Au total, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est une solution de réacteur exceptionnelle qui peut gérer une grande variété de processus et fournir des résultats fiables et reproductibles. Il est idéalement configuré pour les processus avancés d'aujourd'hui, et capable de fournir la propreté de pointe de l'industrie, le contrôle de la contamination et le transfert de chaleur. Avec toutes ces caractéristiques, il est clair pourquoi AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est le réacteur de choix pour de nombreux grands fabricants de semi-conducteurs d'aujourd'hui.
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