Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9205044 à vendre en France
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ID: 9205044
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
PVD System, 12"
(3) Scanners
(3) Racks
CVCF Rack
(3) Monitor racks
Front monitor rack
System component information:
Factory information:
FFU Type: Thin type
(3) POD
FLEX 4 Controller long type
Light curtain
Signal tower: 3 Colors
Robot type: YASAKAWA AT Robot
Pass through option: (2) Slots
Degas chamber information:
(2) Chambers
Chamber type: Standard
Cryo pump: IS-8F
Chamber A&B information:
Chamber A: Pass
Chamber B: Cool
Lid type: Clear
Buffer & transfer information:
Robot type: XP
RGA Option: No
Cryo pump: IS-8F
LCF Amplifire:
(14) Buffer
(12) Transfer
Chamber 1:
Process type: ALPS Co
Adapter: 0040-62882
Spacing: 225 mm
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 150 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 2:
Process type: Ni-10at%Pt
Adapter: 0041-02309
Weldment type: Old type
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
Chamber 3:
Process type: TTN
Magnet: DURA
Adapter: 0040-80367
MFC:
UFC 8565C-AR 100 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 200 sccm, Process
Chamber 4:
Process type: SIP TiN
Adapter:
0040-62877 Bottom, SIP TTN
0040-76943 Upper, SIP TTN(3L)
MFC:
UFC 8565C-AR 50 sccm, Process
UFC 8565C-AR 20 sccm, HTR Gas
UFC 8565C-N2 100 sccm, Process
Chamber 1 / 2 / 3 / 4:
Controller tower type: CCT
Heater type: ESC
Gate valve type: Old type 3 pos
Cryo pump: IS-BF
Shutter option
Sub rack:
Load center rack
(3) Equipment racks
(2) Heater exchangers
Heater exchanger type: SMC Thermo chiller INR-498012D-X007
2004 vintage.
Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un équipement de traitement du PCVD à haute température, de technologie avancée, conçu pour permettre des applications avancées en lithographie et en semi-conducteur. Le réacteur AKT Endura II est basé sur un procédé PCVD propriétaire à haute température capable de revêtir, déposer et diffuser des couches ultra-minces. Le système comprend une cathode de grande puissance pour fournir un débit élevé ; un modulateur multidimensionnel à fréquence variable pour un contrôle précis du processus ; une vaste zone cible pour le blanchissement des plaquettes et la gestion de haute précision de la purge de l'azote et de l'oxygène ; et une unité de soulèvement commandée par ordinateur pour le contrôle exact de l'épaisseur des plaquettes. La machine comprend également une opération de traitement plasma puissante qui peut être couplée avec le procédé PCVD à haute température pour améliorer l'adhérence du film de substrat. L'outil a une gamme de température importante de sorte qu'il peut être utilisé pour diverses applications, y compris le dépôt de couches minces et la diffusion de métaux. Le réacteur AMAT Endura II offre également une excellente capacité d'obturation des plaquettes et sa capacité de traitement est telle qu'il peut atteindre le plus haut niveau de précision avec une intervention humaine minimale. Pour assurer un débit et une précision maximums, le réacteur Endura II est également équipé d'un puissant atout d'alimentation en gaz qui permet de contrôler avec précision le processus de dépôt des couches minces. Ce modèle d'alimentation en gaz a un mode de chauffage qui permet à l'équipement de fonctionner à différentes températures lorsque nécessaire pour obtenir les résultats souhaités. En plus des capacités de traitement spécifiques du réacteur Endura II de APPLIED MATERIALS, il est également équipé de capacités avancées d'enregistrement et de collecte de données. Ce système est capable de tracer des points de données complexes avec une précision milliseconde. En outre, l'unité a été conçue pour travailler en collaboration avec l'application logicielle basée sur PC AKT afin de permettre une nouvelle personnalisation des processus. Le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un équipement de pointe bien arrondi qui offre des performances fiables et précises pour répondre aux besoins des applications les plus exigeantes. Grâce à sa puissante cathode, à sa capacité à contrôler le débit et la température des gaz et à ses nombreuses capacités d'enregistrement et de collecte de données, le réacteur AKT Endura II est le choix idéal pour toute application de traitement PCVD.
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