Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9235244 à vendre en France
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ID: 9235244
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Systems, 12"
Process: Metal
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur intégré, automatisé, thermique/procédé conçu pour le développement de produits et de dispositifs de recherche. AKT Endura II est conçu pour de nombreux procédés différents, y compris semi-conducteurs, MEMS, couches minces, solaire, céramique de pointe, nanowire, et des applications générales de dépôt. AMAT Endura II est un outil complet pour le traitement jusqu'à 4 "tailles de plaquettes. Il est également capable de traiter avec un large éventail de matériaux, dont du silicium polycristallin, du siliciure de palladium, du siliciure de nickel, du nitrure de bore, etc. L'équipement a été conçu pour offrir un transfert de substrat rapide, une flexibilité maximale et des temps de récupération thermique rapides. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II peut fonctionner avec une large gamme de gaz ambiants inertes, réducteurs et réactifs, y compris l'argon, l'azote, l'ammoniac, l'oxygène, l'hydrogène et le méthane. Endura II est équipé d'une interface tactile haute résolution, permettant aux ingénieurs de processus d'accéder aux paramètres, aux recettes et aux systèmes de communication. Les outils graphiques intuitifs permettent une gestion plus facile des paramètres et une conception plus efficace des processus. L'interface est interconnectée avec le logiciel Cloud, permettant l'accès à des recettes de processus à jour et des recettes paramétriques SSL. Il dispose également d'Event Logging et de stockage de bases de données, permettant la compilation et l'analyse de données en temps réel. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est conçu avec un suscepteur radial avancé, capable d'un entraînement radial de haute précision. Le suscepteur fonctionne sur un contrôle dynamique de processus en couches épaisses et une chambre de processus à basse pression déchargée avec une table de pression externe. AKT Endura II dispose également d'un système avancé de reconnaissance des plaquettes avec un mécanisme unique de navette et de préhension. L'unité fonctionne avec une machine de refroidissement à azote liquide 5-L/min et est capable de fonctionner jusqu'à 1200 watts de puissance d'entrée. L'AMAT Endura II est conçu avec des caractéristiques de sécurité avancées, telles que des vannes redondantes de grille, des vannes d'arrêt de surpression, une protection anti-collision et de multiples embrayages de sécurité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura II est équipé de deux générateurs RF, permettant de multiples opérations de substrat sans avoir besoin d'une rupture. Endura II est un outil performant et économique pour optimiser les processus avec des rendements améliorés et des temps de cycle plus rapides.
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