Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9236846 à vendre en France

Le réacteur AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un équipement de traitement de gravure de nouvelle génération utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour l'élimination efficace des matériaux d'une variété de substrats afin de réaliser des dispositifs avec des caractéristiques de précision. L'AKT Endura II est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD) métallique capable d'assurer un dépôt de matière extrêmement uniforme sur des substrats de grande surface. Ses caractéristiques avancées comprennent un design de tête de douche multi-zones qui améliore l'uniformité, un équipement de chauffage/rafraîchissement multi-étages, une capacité de recuit rapide, et l'édition de recette en temps réel. Il dispose également de diverses capacités de surveillance des processus, y compris des données de processus en temps réel et des données de fin d'exploitation. AMAT Endura II est également équipé d'une variété d'autres systèmes de dépôt et de gravure pour la définition de caractéristiques de précision. Endura II est spécifiquement conçu pour assurer une gravure très uniforme des oxydes et nitrures métalliques à partir de divers substrats, dont le silicium, le phosphure d'indium, l'arséniure de gallium, le saphir et d'autres matériaux III-V. La chambre est conçue pour transférer rapidement la chaleur du substrat vers la source de gaz. Cela permet des taux de gravure élevés, ce qui conduit à son tour à des caractéristiques de haute résolution. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II est capable de graver à la fois les zones de couverture et les caractéristiques de gravure par étapes. Sa vitesse de gravure de la surface de couverture est jusqu'à 200 nm/min et sa vitesse de gravure graduelle est jusqu'à 400 nm/min. Le système est sensible à la concentration de la source de gravure et à la distance du substrat. La gravure est réalisée dans des conditions de vide élevé créé par une pompe à vide turbo-moléculaire. L'unité est également équipée de dispositifs de sécurité qui peuvent être ajustés pour personnaliser le processus de gravure. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est capable d'obtenir des finitions de surface de haute qualité avec des défauts minimes. Le processus de gravure se traduit également par une pente verticale minimale et une profondeur uniforme. La machine est également très flexible et a été conçue pour faciliter l'entretien et la mise à niveau. Ses outils peuvent être appliqués pour diverses applications, y compris la structuration 3D, le micro-usinage et la gravure de tranches. AKT Endura II a également une performance exceptionnelle et a obtenu certains des rendements les plus élevés de l'industrie.