Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9237854 à vendre en France
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ID: 9237854
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
PVD System, 12"
Process: AlCu Depositon
FI
SMIF System: (3) Load ports
Mainframe
(6) Chambers:
(2) HP AL
(2) DS TTN
(2) Degas
Handler system:
FI YASAKAWA Robot
Buffer XP robot
Transfer XP robot
Accessories:
DI MAX
Equipment rack
(2) Compressors
(2) Generator racks
2013 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur de traitement de plaquettes de pointe utilisé dans les industries semi-conductrices et connexes. Il a été conçu pour permettre un traitement efficace, précis et fiable des plaquettes. Le réacteur est composé de plusieurs composants différents, dont un équipement de chauffage par induction, un système de distribution de gaz, une chambre à vide, un générateur de puissance RF, un ventilateur de refroidissement, un générateur de plasma, et un bouclier PGR (Pyrolytic Graphite Reactor). L'unité de chauffage par induction utilise une bobine spécialement conçue pour chauffer rapidement les plaquettes à la température souhaitée pour le procédé à réaliser. La machine à gaz fournit les gaz utilisés dans le processus, qui peuvent inclure de l'azote, de l'oxygène, de l'argon et d'autres molécules plus simples. La chambre à vide maintient une pression de vide constante à l'intérieur de la chambre, ce qui permet un traitement efficace des plaquettes. Le générateur de puissance RF produit la puissance radiofréquence nécessaire à l'activation du générateur de plasma. Une fois les gaz injectés dans la chambre, le générateur de plasma crée un puissant champ de plasma qui agit pour rompre les liaisons dans les gaz, formant une espèce de plasma utilisable pour mettre en oeuvre divers procédés tels que la gravure, le dépôt, le recuit ou la croissance. Le ventilateur de refroidissement maintient le bouclier PGR à température constante pour protéger les plaquettes des dommages dus à la chaleur. Enfin, le réacteur peut être utilisé pour mesurer des paramètres tels que la température, la pression, la puissance RF, le débit de gaz et l'uniformité. Dans l'ensemble, AMAT/AKT Endura II est un réacteur de traitement des plaquettes très avancé et fiable qui fournit un traitement efficace et précis. C'est un choix idéal pour les professionnels de l'industrie des semi-conducteurs qui apprécient la précision et la vitesse. Grâce à ses différentes caractéristiques, il est également une option efficace et sûre pour des procédés tels que la gravure, le dépôt, le recuit ou la croissance.
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