Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9258545 à vendre en France

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur à haut débit PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) utilisé pour déposer des couches minces sur un large éventail de matériaux. Cet équipement est bien adapté aux procédés de dépôt de couches minces, tels que la passivation, les revêtements antireflet et les diélectriques minces. Il est capable de déposer à la surface des produits les plus exigeants des couches de matériaux de haute qualité et homogènes avec des résultats à haut débit et reproductibles. L'AKT Endura II dispose d'une chambre à vide haute pression capable de traiter des matériaux d'une taille de plaquette jusqu'à 300mm de diamètre. La chambre est divisée en zones séparées pour les composants de procédé dédiés et utilise une tête de douche coaxiale pour une distribution uniforme du plasma et du gaz à l'intérieur du réacteur. Il intègre également la capacité hors axe pour les étapes de recuit et de gravure à basse température. AMAT Endura II utilise un générateur de radiofréquence de forte puissance pour créer une source de plasma inductivement couplée (ICP) dans la chambre. La source du PIC chauffe les gaz réactifs à plusieurs milliers de degrés Celsius, ce qui est nécessaire pour obtenir les résultats de dépôt souhaités. La génération du plasma est contrôlée par un système PMC (Pulse Modulated Control) qui permet des processus de dépôt répétables avec une uniformité fiable sur tout le substrat. L'unité a également la possibilité d'utiliser un faisceau d'ions concentré in situ (FIB) pour la surveillance des procédés, ainsi que la possibilité d'ajouter des gaz sources supplémentaires pour des applications de dépôt plus diverses. Endura II offre également une variété de fonctionnalités de contrôle de processus telles que la surveillance des gaz réactifs, le contrôle du débit de gaz, les capteurs de pression et les systèmes de contrôle de la température pour garantir des processus de dépôt cohérents avec un rendement et une fiabilité améliorés. En outre, la machine utilise un outil automatisé de manutention des plaquettes avec un chargement et un déchargement faciles des plaquettes pour assurer un traitement continu des matériaux. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II est un actif PECVD à haut débit capable de produire des couches de matériaux de haute qualité, avec une homogénéité répétable et fiable. Ce modèle est équipé d'un certain nombre de caractéristiques différentes, telles que la capacité hors axe, une source de plasma couplée inductivement, un équipement de contrôle modulé impulsionnel, FIB in situ, et un système de manutention automatisé des plaquettes. Cette unité est une solution idéale pour les environnements de R&D et de production nécessitant des capacités de traitement rapides en couches minces avec une grande précision et fiabilité.