Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9270653 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA II est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) utilisé pour former des couches minces de divers matériaux sur un substrat. Le réacteur est constitué de plusieurs « couches », de la chambre chauffée aux composants de support et de transfert, en passant par les équipements électriques commandés par ordinateur. La chambre chauffée est le cœur du réacteur AKT Endura II. Il s'agit d'un conteneur cylindrique en acier inoxydable avec une chambre intérieure et une chambre extérieure. Les parois de la chambre extérieure sont revêtues d'isolant pour maintenir la température, tandis que les parois de la chambre intérieure sont garnies de suscepteurs en céramique qui servent de chauffe. Les suscepteurs sont capables d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 ° C, et peuvent être contrôlés indépendamment pour former différentes épaisseurs de couches de matériaux. La chambre contient également une ou plusieurs entrées de gaz spécialisées, permettant l'introduction de produits chimiques et de gaz utilisés dans le processus de dépôt. Les mécanismes de support et de transfert d'AMAT Endura II sont conçus pour un déplacement efficace et fiable du substrat à l'entrée et à la sortie de la chambre. La table de piste, située typiquement à l'extrémité opposée de la chambre, comporte un système à rouleaux pour transférer rapidement des substrats entre la chambre et la table de piste. La concentration de réaction, la température, la pression et le débit des gaz de procédé sont tous contrôlés et régulés électroniquement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II fonctionne sur une unité hybride de puissance à courant continu/fréquence radio. Cette machine permet un meilleur contrôle du processus de dépôt, permettant à l'opérateur d'ajuster avec précision la température, l'homogénéité et l'épaisseur des couches formées. Un outil informatique interne surveille et régule le courant et la tension électriques, ainsi que surveille et enregistre les variables des actifs, y compris la température de la fiche, la pression de la chambre et les paramètres de la couche déposée. Le réacteur Endura II est conçu spécifiquement pour la production de couches de dépôt à haute température. Il est capable de réaliser différentes couches de matériaux, dont le métal-semiconducteur, le métal-isolant et le silicium-diélectrique, chacune avec une excellente homogénéité et sélectivité. Le modèle électrique avancé du réacteur permet un contrôle précis de la formation des couches, permettant à l'opérateur de créer des couches de matériaux bien définies en peu de temps.