Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9274818 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur de gravure à plasma avancé conçu pour effectuer des opérations de gravure et de gravure à grande échelle sur un large éventail de matériaux et de substrats. Le réacteur est conçu pour être utilisé dans des procédés industriels à haut volume, ainsi que dans des environnements de recherche, de développement et de laboratoire éducatif. L'AKT Endura II est construit avec une plate-forme de chargement sur piédestal et une enceinte à vide pour faciliter le chargement et le déchargement des substrats spécifiques aux wafers et aux cibles. Cette conception permet également une transition aisée des pièces et composants entre différents procédés inclus dans la même opération de gravure. AMAT Endura II dispose d'une chambre de plasma basse pression qui peut être remplie de gaz inertes ou d'autres composants permettant la gravure pour un contrôle complet du processus. Le réacteur comprend un système de gaz hybride qui peut mélanger plusieurs flux de gaz pour optimiser les performances de gravure. Ce système permet également un réglage précis de la pression de dépôt, de la pression de la chambre et du volume de gravure pour adapter le procédé de gravure. En outre, le réacteur dispose d'un spectromètre de masse intégré pour mesurer et suivre les caractéristiques du processus de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II utilise la technologie RF (radiofréquence) et ICP (plasma à couplage inductif) pour fournir des vitesses de gravure élevées et des performances de gravure uniformes dans un large éventail de matériaux. Ses mécanismes avancés de contrôle de la puissance permettent un contrôle indépendant de la polarisation en courant continu des systèmes à platine et à gaz, assurant une profondeur de gravure uniforme et une uniformité sur l'ensemble de la plaquette. Cela permet des résultats de gravure reproductibles et fiables dans la production de gros volumes. La chambre Endura II a un grand espace qui peut être utilisé pour graver plusieurs plaquettes en même temps. Cela permet l'intégration d'un certain nombre d'étapes de processus dans une seule gravure, y compris le balisage, la réticulation et l'implantation. Le réacteur comprend également un système d'imagerie vidéo pour surveiller le processus de gravure et montrer des photos en temps réel du processus. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT La plage de température de fonctionnement d'Endura II va de la température ambiante jusqu'à 1000 ° C (1800 ° F) dans des conditions d'atmosphère sous vide ou d'azote. Cette plage de température de fonctionnement élevée permet un traitement rapide des matériaux, ce qui entraîne des délais de traitement plus courts et moins de défauts. En outre, le réacteur dispose d'un haut degré d'automatisation, y compris des paramètres de recette programmables, pour réduire l'effort et le temps requis pour l'installation et le démarrage. Dans l'ensemble, AKT Endura II est un réacteur avancé de gravure par fusion plasma conçu pour répondre aux besoins des processus industriels à haut volume. Sa conception robuste, ses mécanismes de contrôle avancés et sa plage de température de fonctionnement élevée permettent des opérations de gravure efficaces et répétables avec des performances supérieures.