Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9314715 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un équipement PECVD conçu pour le dépôt de films diélectriques, de métaux et de silicures. Le système peut traiter des plaquettes de 4 "à des températures allant jusqu'à 400 ° C dans une chambre RTP. Le réacteur AKT Endura II dispose d'une station de chargement/déchargement dédiée et d'équipements auxiliaires permettant de contrôler la température du substrat et la recette. Il se compose d'une chambre de procédé, d'une tête de procédé et d'une station de base. La chambre de procédé est une chambre de huit pouces avec des parois en quartz et un couvercle, permettant le traitement du silicium, des matériaux isolants et conducteurs. La chambre de procédé utilise l'unité de pompage Turbo-Pump Turbo-V, pour améliorer les temps de cycle et la fiabilité. Il dispose également d'un régulateur de température programmable TemperFloMC pour maintenir les températures à l'intérieur de la chambre de réaction. La tête de procédé de la machine AMAT Endura II contient un ensemble de cinq électrodes qui fournissent de l'énergie pour le substrat et les gaz de procédé. La puissance totale fournie pour la réaction de dépôt est de 6,75 kW. Les têtes sont conçues pour des opérations de réacteurs flexibles et séquencées, permettant de réaliser séquentiellement plusieurs étapes de processus. La station de base de l'outil Endura II sert de panneau de commande pour toutes les opérations du réacteur. Il contient une série de sept entrées et modes programmables pour le contrôle des recettes, le contrôle de la température et la distribution des gaz. L'actif dispose également d'un CCD/caméra pour surveiller les conditions de la chambre pendant les opérations de processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura II est un outil de dépôt avancé conçu pour une grande variété d'applications, y compris des procédés semi-conducteurs nécessitant des films diélectriques, des métaux et des silicures. Il est très productif et rentable, permettant aux ingénieurs de processus de développer et de maintenir des processus avec des rendements élevés et des temps de cycle optimisés.