Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9315097 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur monobloc conçu pour fournir un outil de procédé complet, durable et convivial pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AKT Endura II utilise des technologies de pointe, telles qu'une source de plasma à couplage inductif haute fréquence (ICP), un générateur de polarisation à pulsation rapide et de multiples configurations de matériel de gravure pour permettre une fabrication de haute qualité avec une large gamme de structures d'appareils. L'équipement entièrement intégré d'AMAT Endura II se compose d'un cryostat cryogénique, d'un ensemble porteur in situ, d'un système de télécommande et d'un générateur ICP haute fréquence à fréquence fixe. Cette combinaison fournit une unité de gravure ICP à faible coût et haute performance qui peut être facilement intégrée dans les lignes de fabrication de semi-conducteurs existantes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La conception modulaire d'Endura II permet une évolutivité et des mises à niveau faciles afin de répondre aux besoins de la ligne de fabrication d'un client. Tous les composants de la machine peuvent être configurés en fonction des besoins du client. La conception de la chambre de procédé est également optimisée pour l'uniformité de gravure dans des conditions de processus variables. La source haute fréquence ICP d'Endura II offre une flexibilité de recette et permet un contrôle précis du taux de gravure, de la sélectivité de gravure, de la tolérance CD (dimension critique) et d'autres propriétés du film. Le générateur de polarisation RF permet également un contrôle précis des processus de gravure et de dépôt. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT L'outil de portage in-situ d'Endura II permet un débit élevé et offre une capacité de processus de large niveau, allant du traitement à un seul niveau au traitement en plusieurs étapes. Le générateur de polarisation d'impulsions rapide fournit un temps de processus rapide et un excellent contrôle CD sans compromettre la précision de la vitesse de gravure ou l'uniformité du processus. AKT Endura II dispose également d'une interface utilisateur facile à utiliser et d'une gestion intuitive des alarmes, afin que les utilisateurs puissent rapidement configurer et surveiller les séquences de processus. En outre, une gamme complète d'outils de diagnostic est fournie, qui permettent aux clients de surveiller et d'analyser leur processus et d'identifier les éventuels problèmes de processus. Dans l'ensemble, AMAT Endura II fournit aux clients un outil complet, durable et convivial pour la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa source d'ICP haute fréquence, son générateur de polarisation rapide des impulsions et d'autres caractéristiques, les matériaux appliqués Endura II permet aux clients d'obtenir une fabrication précise, répétable et rentable.