Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358610 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur prêt à la production conçu pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Il est équipé d'une alimentation en filament à faible inductance, d'un réglage automatisé de la hauteur du suscepteur, d'un montage à faible bruit, d'une architecture brevetée de la chambre de procédé et d'une grande uniformité de dépôt. AKT Endura II utilise une architecture de chambre brevetée avec une forme de procédé optimisée pour maximiser l'uniformité du flux de gaz et améliore l'uniformité thermique, la répétabilité des processus et la stabilité des processus. L'alimentation électrique à faible inductance est conçue pour réduire le bruit électrique, ce qui minimise la contamination potentielle du procédé et se traduit par un rendement plus élevé et une meilleure qualité. Le réglage automatisé de la hauteur du suscepteur permet un positionnement précis et reproductible des plaquettes, ce qui réduit la variation lot-à-lot de l'épaisseur du film. L'ensemble de roulement à faible bruit aide à maintenir des environnements cohérents, donnant des processus reproductibles et une meilleure qualité de processus. AMAT Endura II est un système très adaptable, avec des caractéristiques telles qu'un point de décollage résistif en quartz, une vanne de commande HCl et jusqu'à trois soupapes de gaz rotatives. Il dispose d'une large fenêtre de fonctionnement de températures et de pressions et comprend des capacités de puissance RF standard double. Le puissant logiciel EasyCenturion fournit des recettes de processus automatisées qui peuvent être rapidement transférées entre les systèmes et rend possible la surveillance et le contrôle des processus à distance. La performance globale et la fiabilité d'Endura II en font un excellent choix pour les processus LPCVD. C'est un outil idéal pour les procédés de production nécessitant une haute répétabilité et une grande uniformité, comme le dépôt de nitrure de silicium ou de silicium polycristallin. Le puissant logiciel EasyCenturion en fait également un excellent choix pour les applications basées sur la recherche, permettant un prototypage rapide des nouveaux procédés et un transfert rapide entre les différents réacteurs.