Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363126 à vendre en France
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AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur utilisé pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il est destiné à réaliser le dépôt de couches conductrices et diélectriques d'épaisseurs variables sur divers substrats. AKT Endura II dispose d'un système CVD entièrement automatisé avec une chambre de traitement de 1-5 pouces et un système intégré de manutention des plaquettes. Il est capable de produire des matériaux tels que des oxydes transparents et conducteurs, des diélectriques, des nitrures, des carbures et de nombreux autres systèmes de matériaux. AMAT Endura II utilise une source de plasma à distance avec des processus CVD à basse pression pour améliorer l'efficacité et l'uniformité des performances. Ce réacteur met en oeuvre une technologie connue sous le nom de balayage linéaire, permettant de varier les épaisseurs de dépôt sur une variété de substrats. Le processus de balayage linéaire est contrôlable et produit des couches uniformes, grâce au déflecteur à haut flux intégré qui limite la zone de dépôt pour une croissance uniforme du film. L'Endura Plasma Source est capable de fonctionner sur plusieurs gaz simultanément permettant l'approximation de l'environnement parfait lors de la production de films et de revêtements. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le laminage à haute vitesse du réacteur Endura II permet de réduire les gradients de température à travers le substrat. Ceci permet d'améliorer la stabilité et l'uniformité des résultats de revêtement sur l'ensemble du lot de plaquettes. En outre, la source de plasma à distance contribue à accélérer la croissance des matériaux, ce qui, à son tour, réduit le temps de cycle. Cela garantit que le réacteur CVD peut atteindre des niveaux d'efficacité élevés rapidement et facilement. Endura II possède également d'autres caractéristiques telles que l'automatisation avancée, l'imagerie CCD, la métrologie chimique et les mécanismes avancés d'adhérence des plaquettes qui fournissent un excellent contrôle sur l'ensemble du traitement des plaquettes. Le procédé permet d'utiliser un large éventail de matériaux avec des taux de dépôt très élevés. Le débit élevé et la qualité élevée des matériaux de production sont quelques-uns des principaux facteurs qui font d'AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II réacteur un système CVD exceptionnel pour produire des revêtements haute performance sur une variété de substrats.
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