Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363128 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un réacteur à dépôt physique en phase vapeur avancé (PVD) utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il offre un contrôle de processus serré pour assurer une uniformité, une répétabilité et des débits élevés. Il s'agit d'une machine haute performance et se compose de trois composants principaux : la chambre de procédés, l'équipement sous vide et le système de contrôle des procédés. La chambre de procédé est un récipient sous vide étanche muni d'étagères basculantes et tournantes pour le maintien du substrat. Lors du processus de fabrication, le substrat est chargé et déchargé, et la chambre peut également être inclinée et mise en rotation pour faire basculer le substrat pour des revêtements optimaux. L'unité de vide contrôle l'écoulement des gaz dans la chambre et est responsable de la purge des matériaux dégazés. Cette machine est également chargée de maintenir la chambre sous vide lors des processus de dépôt. Le troisième élément principal est l'outil de contrôle des processus. C'est le mécanisme qui assure la précision et la répétabilité lors du revêtement, en contrôlant avec précision les débits de gaz, les températures, les pressions et les positions des substrats. Il peut détecter et surveiller diverses variables de processus comme la pression, le débit de gaz vecteur et le taux de dépôt, ce qui aide à atteindre le résultat souhaité. Il est également responsable de la commande du papillon, des systèmes d'alimentation et des générateurs de plasma, ce qui permet à ces composants de fonctionner de manière optimale. AKT Endura II est un réacteur PVD très avancé, adapté pour être utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs les plus avancés. Il combine efficacement la chambre de procédé, l'actif sous vide et le modèle de contrôle de processus pour fournir un processus de revêtement précis et assurer l'uniformité, la répétabilité et des taux de débit élevés. C'est le produit idéal pour obtenir la meilleure qualité de revêtement et une productivité maximale.
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