Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805 à vendre en France
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ID: 9379805
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
PVD System, 12"
Process: RPC
Chamber
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un système de dépôt à haute performance utilisé pour la fabrication de circuits intégrés. Ce réacteur fonctionne dans un environnement sous vide compact et sophistiqué et permet le dépôt d'une large gamme de matériaux dont le silicium polycristallin, l'oxyde, l'aluminium, le titane et le nitrure. Le réacteur AKT Endura II a deux sources de pulvérisation pour garantir des propriétés de dépôt optimales, ce qui en fait une plate-forme appropriée pour la production de dispositifs avancés. AMAT Endura II Reactor possède des caractéristiques de conception innovantes qui en font un outil de dépôt fiable et puissant. Le réacteur dispose d'une enceinte pleine chambre qui est presque hermétiquement scellée pour la stabilité extrême de la température et réduit la contamination de fond. L'intérieur de ce réacteur comporte des cibles à ressort et un ensemble multi-aimants à double source qui assure une excellente ionisation des gaz réactifs, conduisant à un plasma uniforme et à haute densité. Cette homogénéité de dépôt permet un dopage efficace et fiable des matériaux avec d'excellentes propriétés pelliculaires. La conception optimisée du magnétron minimise également la contamination des pulvérisateurs en empêchant les particules de revenir sur le substrat. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura II possède également un certain nombre de caractéristiques de sécurité. Le système perfectionné de surveillance des casiers à gaz est conçu avec un triple circuit d'alimentation et de purge pour assurer un préemballage et un mélange adéquats des gaz. Cela réduit le risque de blocages, de fuites de gaz et d'autres dangers potentiels. Le système de commande numérique avancé permet un réglage en temps réel de la pression et de la température, assurant un contrôle optimal des paramètres sophistiqués. Ceci permet également un contrôle précis de l'épaisseur totale du dépôt et de l'uniformité. La polyvalence du réacteur Endura II est l'un de ses plus grands avantages. La conception à double source et l'excellente ionisation offrent une excellente uniformité de dépôt pour une variété de matériaux. Cet outil polyvalent est capable d'effectuer des séquences de pulvérisation de sources multiples rapides en un seul cycle, tandis que son contrôleur numérique fournit le plus haut niveau de contrôle dans les opérations basées sur des paramètres. Avec ses multiples caractéristiques de sécurité et de performance, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor est l'un des outils de dépôt les plus avancés de l'industrie des semi-conducteurs.
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