Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9387985 à vendre en France
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ID: 9387985
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
PVD System, 12"
2006 vintage.
Le réacteur AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un système CVD à basse pression et à vide (LVHV) de pointe conçu pour les procédés de réaction avancés dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de réaliser une grande variété de procédés chimiques et physiques complexes, y compris le dépôt en couches minces, la gravure, le dépôt diélectrique, la fabrication de contacts métalliques, la sélectivité de la gravure métal/oxyde, le nettoyage des plaquettes, et plus encore. Le réacteur AKT Endura II est doté d'un système de vide de haute précision de pointe, capable d'atteindre une pression de base de 2X10-7 Pa. Sa conception robuste est complétée par des contrôleurs avancés et des capteurs sophistiqués qui assurent un contrôle précis de la pression, de la température, du débit de gaz et d'autres variables pour la performance précise du processus de dépôt. Le réacteur AMAT Endura II utilise une grande chambre à quartz pour contenir le procédé de dépôt. Les joints de chambre permettent une extraction efficace des gaz de procédé après que la réaction souhaitée a été réalisée. Des éléments chauffants, intégrés dans les parois de la chambre à quartz, alimentent uniformément le substrat pendant le processus de dépôt afin d'assurer une épaisseur uniforme et une meilleure adhérence. Plusieurs entrées de gaz sont intégrées dans les parois latérales de la chambre à quartz pour faciliter différents précurseurs de matériaux nécessaires au processus de dépôt. Cette conception de chambre permet également d'obtenir un dépôt de film uniforme même après de longs cycles de dépôt. MATÉRIAUX D'APPLICATION Endura II dispose également de multiples systèmes de trempe pneumatique, qui arrêtent le réacteur avec une soudaine explosion d'air, ce qui entraîne une qualité du produit final. En outre, ce réacteur comprend un système automatisé de contrôle des procédés de haute précision multi-zones pour contrôler et surveiller le processus de dépôt et ses variables. Enfin, le réacteur Endura II dispose également d'une capacité de traitement élevée qui augmente le rendement du dispositif et le débit de production. Avec son large éventail de caractéristiques, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II en fait un outil idéal pour le développement de matériaux avancés pour l'industrie des semi-conducteurs.
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