Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9402493 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9402493
Sputtering system.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II est un système de traitement avancé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est destiné à des applications avancées de dépôt et de gravure, et se compose de quatre composants principaux : le réacteur (capable de traiter les semi-conducteurs), le module capteur (surveillance et réglage en temps réel des processus en chambre), les modules de contrôle des processus (surveillance et contrôle des données) et le système de purge (pour l'épuration des gaz utilisés dans le traitement). Le Réacteur est constitué d'une chambre à vide dans laquelle est placé le substrat à traiter. Il existe des entrées qui permettent au gaz de dépôt, au gaz de gravure et au gaz de purge d'entrer dans la chambre et d'être utilisé dans le traitement. La chambre est chauffée et maintenue à une plage de température optimale pour assurer les résultats de traitement souhaités. Le bras qui maintient le substrat le soulève et l'abaisse selon les besoins afin d'optimiser et de contrôler la réaction, et un plasma est généré lorsque de l'énergie haute fréquence est appliquée et que la puissance RF est délivrée à la chambre de réaction. Le module capteur surveille le plasma, la température de la chambre et d'autres variables pendant le processus de réaction afin d'effectuer les ajustements nécessaires. Cette information est également envoyée aux modules de contrôle des processus, qui analysent les données et décident si une puissance RF supplémentaire est nécessaire ou si un mélange gazeux différent doit être utilisé. Les modules de contrôle de processus ont également des sous-systèmes qui peuvent contrôler toutes les facettes du processus de réaction. Il s'agit notamment de contrôler la température du substrat, de régler les taux de gravure et de dépôt, de modifier les recettes de gravure et de dépôt et de contrôler avec précision l'ensemble du procédé. Les modules de contrôle de processus permettent également à l'opérateur de régler la pression à l'intérieur de la chambre, en assurant l'ouverture et la fermeture des soupapes et autres commandes de pression afin de maintenir la pression optimale à l'intérieur de la chambre. Le système de purge permet de maintenir des niveaux de pureté optimaux des gaz utilisés dans le processus de dépôt et de gravure. Les systèmes de filtration multi-étapes garantissent que les gaz utilisés dans le processus restent aux niveaux de qualité les plus élevés. Cela aide à protéger le substrat en cours de traitement et garantit que les résultats sont cohérents et reproductibles. AKT Endura II est une machine puissante, fiable et polyvalente conçue pour la fabrication de semi-conducteurs. Les différents composants travaillent ensemble non seulement pour fournir des résultats optimaux, mais aussi pour permettre un grand contrôle sur l'ensemble du processus de réaction. Cela permet de reproduire des résultats de haute qualité dans les applications avancées de dépôt et de gravure.
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