Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9008985 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura Pre Clean Chamber est un réacteur automatisé à grande échelle d'outils intégrés (IT) conçu pour accélérer le processus de fabrication des puces semi-conductrices. C'est une méthode efficace pour éliminer les couches de contaminants critiques des substrats et des plaquettes avant d'entrer dans une chambre de traitement traditionnelle. Cette chambre est particulièrement utile pour l'élimination de la saleté, de la poussière et d'autres composés organiques volatils (COV) qui, autrement, traverseraient les chambres de traitement traditionnelles et seraient noyés dans le circuit de la puce. AMAT Endura Pre Clean Chamber dispose d'un équipement de contrôle automatisé intégré qui permet une surveillance continue du processus. Il s'agit de la première étape d'un système de traitement à semi-conducteurs à plusieurs étapes, offrant un avantage majeur de réduire l'empreinte de la salle blanche en raison des niveaux élevés d'intégration. L'Endura est contrôlé par une unité brevetée permettant de contrôler la température, la pression, la concentration en oxygène et d'autres variables. La chambre pré-propre utilise des paramètres programmables et un ajustement autonome des conditions de processus. Il fonctionne selon deux procédés différents, un procédé de dépôt d'oxyde en une seule étape et un procédé de dépôt et de gravure d'une seule couche en deux étapes. La chambre est construite directement dans la machine de traitement des plaquettes, offrant un environnement étanche dans lequel travailler. La chambre est construite en acier inoxydable et est équipée d'un joint torique de haute pureté pour une meilleure étanchéité. La chambre contient également trois zones de plasma RF indépendantes et une série de filtres internes multi-niveaux, offrant un meilleur environnement pour le traitement en salle blanche. Le contrôleur intégré dans la chambre permet de contrôler et d'ajuster un large éventail de paramètres de substrat et de processus. Il offre également un contrôle rapide de la température et de la pression, ainsi qu'une détection en temps réel des défauts et un contrôle de la température du substrat et de la puissance RF. L'outil de surveillance offre une visibilité complète de toutes les variables de processus, assurant les niveaux les plus élevés de rendement des plaquettes. Cette chambre est extrêmement fiable et efficace, avec la capacité de fonctionner 24/7 avec un minimum d'entretien. Son interface conviviale simplifie la programmation, le fonctionnement et le contrôle, ce qui permet aux opérateurs d'obtenir des résultats optimaux avec un minimum d'efforts. Cette chambre est un excellent outil pour assurer la qualité et le rendement maximum de la plaquette dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il offre un excellent rapport qualité-prix, offrant une solution fiable et efficace pour éliminer rapidement les contaminants des substrats avant d'entrer dans une chambre traditionnelle. C'est un composant essentiel et économique pour la fabrication de salles blanches.