Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9009003 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura Pre Clean Chamber est un réacteur automatisé en silicium polycristallin conçu pour assurer un nettoyage de haut niveau des plaquettes pendant le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) du silane. Ce réacteur spécialisé est utilisé pour nettoyer efficacement la plaquette avant le début du processus de dépôt, contribuant ainsi à éliminer la contamination et à garantir des résultats de dépôt cohérents et de grande qualité. La chambre du réacteur pré-propre est de forme cylindrique et conçue pour accueillir plusieurs plaquettes simultanément, ce qui permet d'augmenter le débit et de réduire les temps de cycle. À l'intérieur de la chambre, plusieurs injecteurs de gaz sont stratégiquement placés pour favoriser une répartition uniforme des gaz silane et réactifs sur la surface de la plaquette. Toute la chambre est également évacuée et chauffée pour assurer des températures uniformes tout au long du processus de nettoyage. Le processus de nettoyage lui-même est automatisé et comprend plusieurs étapes. Tout d'abord, le silane est chauffé et traversé par les injecteurs dans la chambre, créant un revêtement uniforme de particules réactives à la surface de la plaquette. Ensuite, la plaquette est chauffée à une température prédéterminée qui contribue à initier la formation et la décomposition de l'oxyde. Ce processus aide à éliminer efficacement et rapidement tous les contaminants de surface présents et prépare la plaquette pour le traitement CVD. Une fois le nettoyage pré-nettoyé terminé, la chambre est purgée et pressurisée avec un gaz non oxydant. Cela aide à protéger la plaquette contre l'oxydation et la contamination pendant qu'elle est retirée de la chambre et renvoyée à l'unité CVD. AMAT Endura Pre Clean Chamber est un excellent choix pour les solutions de nettoyage des plaquettes, offrant des performances cohérentes et fiables.