Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura SL #293722942 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura SL est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de haute performance et de haute qualité. Ce système est conçu pour les procédés CVD monobloc à pression atmosphérique de pointe de l'industrie pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le réacteur AMAT Endura SL fournit un dépôt conforme exceptionnel avec une homogénéité supérieure des films pour permettre les derniers ICs 3D, LED et MEMS. Le cœur des matériaux appliqués Endura SL Reactor est son contrôle de gaz supérieur. Il est doté d'un design innovant avec une consommation d'énergie plus faible et un débit plus élevé, ce qui augmente la productivité et l'efficacité. Le réacteur Endura SL assure un contrôle dynamique du débit avec une excellente uniformité à court terme pour permettre le dépôt de films cohérents. Sa chambre CVD est conçue pour être contrôlable multi-zone avec la capacité d'optimiser plusieurs recettes de processus dans une chambre. Il a une conception innovante de l'unité de verrouillage de charge qui permet un traitement précis des plaquettes à faible charge. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura SL offre également un contrôle de température à pleine portée, depuis le dépôt à basse température jusqu'à 900 ° C Cette flexibilité de température permet une large gamme de processus CVD incluant PECVD, PEALD et ALD. Le réacteur offre également des diagnostics in-situ et ex-situ pour la détection rapide et la correction des problèmes de contrôle de processus. Sa suite logicielle assure le contrôle automatisé de l'ensemble du processus CVD pour un meilleur contrôle et une meilleure répétabilité. De plus, le réacteur AMAT Endura SL bénéficie d'une stabilité de processus exceptionnelle grâce à une architecture de contrôle unique et intégrée en boucle fermée. Il peut maintenir des conditions de processus, telles que la température, l'humidité, le débit et la pression, sur de longues périodes sans dérive. Cela garantit que le processus CVD est toujours sous contrôle précis. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Endura SL offre également une large gamme de fonctions de sécurité automatisées. Ceux-ci garantissent que les processus sont exploités en toute sécurité et avec un risque minimal pour le personnel, l'équipement et l'environnement. Les protocoles de sécurité automatisés surveillent des paramètres tels que la pression, le débit, la température, et plus, et peuvent arrêter les processus lorsque les seuils préétablis sont dépassés. Dans l'ensemble, Endura SL Reactor est une machine CVD haute performance conçue pour répondre aux exigences les plus strictes pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Avec son contrôle de gaz supérieur, son contrôle de température complet et ses fonctions de sécurité automatisées, cet outil offre des performances de dépôt et de traitement de la plus haute qualité sur le marché. C'est un choix idéal pour les entreprises à la recherche de processus CVD fiables et reproductibles pour leur nouvelle génération d'appareils microélectroniques.