Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9194422 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ outil de grappe bobine-à-bobine a été développé pour fournir des performances de processus améliorées et un débit élevé pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur de planarisation mécanique chimique (CMP) capable de traiter des substrats de grande taille jusqu'à 600 mm et offrant des performances répétables avec une faible variation de tranche à tranche. L'AMAT Endura TxZ est équipé de deux grandes chambres, de deux polisseuses monobloc et de deux stations de traitement par voie humide à double face. Il est conçu pour effectuer de multiples tâches de traitement dans un même système, y compris la planarisation chimico-mécanique (CMP), le polissage et la gravure chimique. La chambre principale abrite le robot CMP principal, qui gère le chargement et le déchargement des plaquettes et contrôle le chargement- et le déchargement des tampons de polissage. La plate-forme logicielle de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura TxZ fournit un contrôle intelligent des processus et de la surveillance des processus afin de fournir des rendements élevés et des résultats cohérents. Les paramètres de processus CMP sont optimisés pour une application donnée, permettant un contrôle dynamique du processus, et peuvent être ajustés en fonction du type de matériau et des exigences d'application. La chambre principale, le robot principal et le distributeur principal peuvent être contrôlés et contrôlés depuis la plate-forme logicielle. Le réacteur Endura TxZ a une capacité de transport et de positionnement à grande vitesse, ce qui réduit les temps de cycle et améliore le débit. Sa capacité de polissage dynamique permet un polissage uniforme sur l'ensemble de la plaquette. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura TxZ est l'un des seuls systèmes CMP à offrir une nappe continue pour produire des surfaces planes, voire polies. La conception mécanique redondante de l'AMAT Endura TxZ garantit la fiabilité et la précision durable des configurations CMP sur de longues périodes. La conception hautement automatisée de MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura TxZ permet d'augmenter le débit, d'améliorer la sécurité et le contrôle de l'environnement, et un meilleur contrôle du processus pour déterminer le bon taux d'enlèvement du matériau sur l'ensemble de la plaquette. Son contrôle rigoureux au niveau des plaquettes minimise les déchets et aide à s'assurer que la quantité appropriée de matière est enlevée au bon niveau de vitesse et de puissance. Avec son système de détection automatique, Endura TxZ offre un contrôle de processus plus précis lors du traitement de substrats plus gros. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura TxZ est conçu pour fonctionner à la fois sur le côté avant et sur le côté arrière. Il est utilisé dans une variété d'industries, y compris la fabrication de circuits intégrés, la fabrication de MEMS et la fabrication de plaquettes de pointe. Sa configuration standard lui permet d'être facilement adaptable à différentes technologies et matériaux, ce qui en fait une solution puissante et fiable pour la fabrication de semi-conducteurs de prochaine génération.