Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura TxZ est un réacteur de traitement thermique direct en ligne de pointe utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs à haut volume et de cellules photovoltaïques. Cet outil est capable de traiter des plaquettes de 300mm (12 pouces), ce qui permet un débit plus élevé et une meilleure productivité. La chambre de traitement AMAT Endura TxZ est divisée en plusieurs zones, chacune étant spécifiquement conçue pour traiter différentes fonctions. La station de cassette peut accueillir à la fois les sources d'évaporation du faisceau d'électrons et les sources physiques de dépôt en phase vapeur (PVD). La chambre de procédé est également équipée de mécanismes avancés de refroidissement et de régulation de la température. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura TxZ utilise une source d'énergie à haute fréquence et à haut cycle pour le chauffage rapide de la chambre de procédé. Endura TxZ peut traiter plusieurs types de matériaux, y compris des composés tels que l'arséniure de gallium, le dioxyde de silicium (SiO2) et l'oxyde d'étain d'indium (ITO). Il peut également évaporer des matériaux élémentaires comme l'aluminium et le magnésium. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Endura TxZ est idéal pour le dépôt de précision de matériaux de revêtement antireflet et antireflet, ainsi que d'un certain nombre d'autres matériaux. Il possède également un large éventail de capacités de procédé, y compris la pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), l'évaporation par faisceau d'électrons et le dépôt par couche atomique (ALD). En plus de sa plage de température de travail de 200-1200 ° C, l'outil dispose de systèmes avancés de surveillance, de diagnostic et de nettoyage. L'équipement intégré de détection et de contrôle assure un positionnement précis des plaquettes et un dépôt uniforme sur toute la surface des plaquettes. Il permet également un ajustement optimal des paramètres du processus pour améliorer les résultats. AMAT Endura TxZ comprend un système de suivi et de diagnostic en temps réel, qui fournit des données cohérentes pour le développement et l'optimisation des recettes. L'unité de diagnostic surveille également et signale tout problème potentiel avec la machine, donnant aux ingénieurs une rétroaction instantanée afin qu'ils soient en mesure de répondre rapidement à tout problème. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura TxZ est compatible avec d'autres outils avancés utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Il a été conçu pour bien s'intégrer avec des robots, des filtres à poussière et d'autres équipements de post-traitement. Cela permet aux ingénieurs d'ajouter des couches supplémentaires d'automatisation au processus, assurant des délais de traitement plus rapides, une meilleure précision et des rendements plus élevés. Il a également la flexibilité nécessaire pour s'adapter aux exigences changeantes des processus, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. De la fabrication de puces à la photovoltaïque, Endura TxZ est une solution de traitement polyvalente et fiable.