Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur PVD Endura VHP est un outil de pointe pour les applications de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Le réacteur est conçu pour déposer des couches de film sur des substrats avec une homogénéité et une répétabilité supérieures. Cet équipement est un outil de procédé de pointe de l'industrie qui offre un dépôt de film PVD fiable et supporte un large éventail de technologies de dépôt. Le réacteur PVD AMAT Endura VHP offre une conception optimale en termes de flexibilité du procédé, de haut débit et de performance des particules ultra-faible. Il utilise des sources d'énergie radio fréquence (RF) et courant continu haute densité (DC) pour obtenir des couches de film d'une exceptionnelle uniformité et vitesse de grille sur une large gamme de matériaux et de tailles de substrat. Le système comprend une conception de nouvelle génération pour l'étage de la chambre, de la source, du porte-substrat et de la plaquette pour améliorer les performances thermiques et particulaires. En outre, le réacteur est équipé de dispositifs de protection motorisés pour améliorer la fiabilité du procédé. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur PVD Endura VHP est également capable de délivrer des précurseurs de dépôt qui peuvent être chargés sur le porte-produit du substrat et rapidement conduits jusqu'à la chambre de réaction. Le contrôle du mouvement amélioré et la détection optimisée de la position du miroir garantissent des résultats de processus supérieurs. De plus, l'unité est conçue pour soutenir des applications commerciales, de R-D et de production en ligne pilote. Le réacteur PVD Endura VHP est capable de mesurer avec précision les taux de dépôt, les profils de température et l'épaisseur du film à travers le substrat à l'aide d'une machine de diagnostic intégrée. L'outil prend également en charge un large éventail d'outils d'analyse qui peuvent contribuer à la surveillance en temps réel du processus de dépôt ainsi qu'à son évolution dans le temps. L'atout est conçu pour être extrêmement convivial, et offre un large éventail de recettes et de capacités de personnalisation des recettes, permettant aux utilisateurs de personnaliser le processus selon leurs besoins individuels. De plus, le réacteur dispose d'une détection et d'une résolution avancées des défauts, permettant de détecter les incohérences de procédé dues à des événements inattendus et de faire en sorte que les incohérences identifiées soient rapidement résolues sans interrompre le procédé. Dans l'ensemble, AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur PVD Endura VHP est un outil de procédé physique de dépôt en phase vapeur hautement fiable, efficace et personnalisable qui offre une uniformité et une répétabilité supérieures, un contrôle optimisé du mouvement et une détection de la position du miroir, ainsi qu'un modèle de diagnostic intégré pour la surveillance en temps réel du processus de dépôt.