Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #293672286 à vendre en France

AKT/Aktell Endura II Front-End Metallization Reactor est un réacteur de pointe qui fournit une méthode efficace et rentable pour la fabrication de circuits intégrés (IC). L'Endura II offre des rendements élevés et une large fenêtre de processus, permettant aux fabricants de dispositifs d'atteindre les meilleurs taux de production. Tous les composants sont conçus pour répondre aux exigences strictes de compatibilité avec les principaux noeuds de processus IC et les technologies de contrôle. Le réacteur de métallisation frontale utilise des principes solides de conception de dépôt en phase vapeur physique pour fournir des couches uniformes ultra-minces de matériaux tels que l'aluminium et le tungstène. Le procédé commence par un pré-dépôt propre pour éliminer tout résidu organique du substrat, et le préparer pour le dépôt de couches minces. Lors du dépôt, les précurseurs métalliques d'ultra-haute pureté sont rapidement évaporés dans un gaz porteur et autorisés à se condenser pour former une couche mince sur le substrat. Le système est intégré avec un système de vide haute performance, permettant des temps de cycle compétitifs et la précision. La rétroaction des capteurs améliore les performances des processus et aide d'autres systèmes à maintenir les exigences des processus de moins de 50nm. Le contrôle du processus comprend un fonctionnement en boucle fermée pour améliorer le contrôle du processus et le rendement. La température, la pression et la sensibilité sont surveillées en continu. L'Endura II est conçu pour le traitement précis et rapide d'une large gamme de substrats. Il peut contenir jusqu'à six substrats à la fois et manipuler des substrats de 12mm à 300mm de diamètre. Avec une température maximale de 650 ° C et une vitesse maximale de 600 tr/min, il peut être utilisé pour obtenir des résultats de grande précision en peu de temps. En outre, l'Endura II supporte une large gamme de gaz de procédé, permettant une variété de recettes de dépôt. Le réacteur de métallisation frontale AMAT/Aktell Endura II est un outil fiable et rentable pour les fabricants qui ont besoin d'une solution efficace pour la production d'IC. Avec sa conception polyvalente, il peut traiter un large éventail de substrats et de matériaux de processus. Les capacités de traitement haute performance et le contrôle des processus aident les fabricants à obtenir les meilleurs résultats et à répondre aux exigences des nœuds de périphériques difficiles. Grâce à sa capacité à manipuler des couches uniformes ultra minces, l'Endura II est un outil puissant pour la production de circuits intégrés.