Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Front-End Metallization for Endura II #9294263 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS La métallisation frontale pour Endura II est un réacteur avancé, peu coûteux, performant et à haut débit. Il s'agit d'une plate-forme entièrement automatisée qui permet la fabrication de dispositifs à circuit intégré frontal (IC), tels que les circuits intégrés spécifiques à une application (ASIC) et les dispositifs à puce (SoC), avec une métallisation en couches minces pour améliorer considérablement les performances des dispositifs. Cette machine combine une capacité de processus améliorée, des coûts d'exploitation réduits et une meilleure préparation des processus avec une automatisation conviviale pour permettre une production rapide et rentable de dispositifs semi-conducteurs. L'Endura II dispose d'une architecture distribuée unique avec des capacités améliorées de chauffage et de refroidissement des plaquettes. Le système comprend une boîte à gaz multi-stations haute performance avec un suscepteur en graphite pour un chauffage rapide et une puissante unité de vide pour un refroidissement rapide. L'architecture répartie du réacteur permet des débits élevés allant jusqu'à 2 700 waffer-heures et 16 plans wafer. La machine dispose d'un boîtier chauffé, d'une haute pression sous vide et d'une boîte à gaz linéaire à double chambre pour un chauffage rapide. La boîte à gaz contient une entrée de gaz, un suscepteur de graphite, un générateur de plasma, un vide élevé et un orifice d'échappement pour le contrôle du débit de gaz. AMAT Endura II est équipé de plasma ultra haute densité (UHDP) pour une compatibilité optimale des procédés. L'UHDP est un outil spécialisé qui offre un nettoyage très efficace des surfaces des plaquettes et l'élimination des contaminants, tels que les oxydes métalliques, du processus de métallisation frontale. L'UHDP a été utilisé pour obtenir un dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PE-CVD) pour améliorer la performance du dispositif. L'Endura II dispose d'un moteur d'exécution de processus entièrement automatisé qui permet la synchronisation programmable des différents modules. Cette caractéristique permet au réacteur de contrôler avec précision les paramètres du procédé, tels que la température, la pression et le débit de gaz, lors de chaque étape du procédé de métallisation. Le logiciel intègre également des diagnostics d'actifs complets pour surveiller et contrôler la performance du modèle. On obtient ainsi une plus grande uniformité, un meilleur débit et de meilleurs rendements de métallisation. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura II fournit des solutions complètes pour les processus de métallisation en couches minces avec un débit élevé, une préparation de processus efficace et un contrôle de processus supérieur. En combinant ces capacités avec l'UHDP et le contrôle automatisé des procédés, le réacteur permet la fabrication rentable de dispositifs semi-conducteurs avec des performances plus élevées et des rendements améliorés.