Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK #293608989 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK est un réacteur de gravure/oxydation haute performance capable de réaliser une large gamme de processus de gravure, de dépôt et d'oxydation. L'équipement hautement configurable comprend un moteur pas à pas et un scanner multi-axes haute vitesse et haute résolution, ce qui le rend idéal pour des procédés tels que la gravure plasma, la gravure ionique réactive (RIE), la pulvérisation, l'oxydation et le dépôt en couches minces. AMAT G5 MESA HPK est conçu pour assurer une homogénéité maximale des processus sur la plaquette. Les composants principaux de l'unité sont une chambre, un système de traitement des gaz et une unité de vide. La chambre est en acier inoxydable, avec une vue en quartz pour permettre la visualisation du traitement. Pour assurer une uniformité maximale, la chambre est équipée d'une machine de distribution de gaz multi-zones, d'un générateur RF multipoint et d'une conception d'antenne multiple, ainsi que d'une alimentation hyperfréquence qui permet un contrôle de fréquence indépendant à chaque antenne. L'outil dispose également d'un actif avancé de contrôle informatique, qui est capable de contrôler le modèle grâce au logiciel WaferWorks. Le logiciel permet aux utilisateurs de régler facilement des paramètres tels que la pression de la chambre, la température de la plaquette, les niveaux de puissance RF et les paramètres de l'antenne. De plus, le logiciel surveille les activités de réaction et les diagnostics pour s'assurer que tous les processus fonctionnent bien. L'équipement de traitement des gaz pour les matériaux appliqués G5 MESA HPK est conçu pour fournir des résultats précis et reproductibles. Il est capable de contrôler à la fois les canaux contrôlés en débit massique et les vannes de source, avec un mélange de gaz bien définis provenant de diverses sources. Le système permet une variété de gaz d'essai et de chimies de gravure, garantissant que les utilisateurs peuvent personnaliser leurs processus pour des besoins et des applications spécifiques. G5 MESA HPK dispose également d'une unité de vide, comprenant une pompe à ions, une chambre de gettering, une cryopump, et une turbo-pompe. La combinaison de ces systèmes permet des niveaux de vide élevés, assurant que toutes les activités de réaction se produisent dans un environnement ultra-faible contamination. Globalement, AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA HPK est un réacteur de gravure/oxydation avancé idéal pour une variété de procédés. De la gravure plasma, de la pulvérisation, de l'oxydation et du dépôt en couches minces, au contrôle informatique avancé et aux systèmes sophistiqués de manutention des gaz et de vide, cette machine performante permet aux utilisateurs d'atteindre les niveaux les plus élevés d'uniformité et de répétabilité sur leurs plaquettes.