Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Loadlock chamber for P5000 #293658099 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Loadlock chamber for P5000 est un réacteur polyvalent et performant conçu pour diverses applications de traitement des plaquettes et d'épitaxie. Sa conception en turbofan le rend adapté aux opérations à grande et à petite échelle. Il est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1000 ° C et dispose d'une technologie de chauffage à film épais conçue pour améliorer l'uniformité des températures. L'équipement est adapté pour des applications à ultra-haut vide ou à basse pression. Les sources hyperfréquences RF sont montées dans une plate-forme mobile pour un positionnement optimal. AMAT Loadlock chambre fournit une solution efficace et rentable pour les exigences de préparation de substrat. Il est conçu pour des applications gazeuses non inertes et permet un contrôle optimal de l'environnement gazeux et de la pression. La chambre P5000 dispose d'un étage linéaire multi-zones - équipé de trois (3) actionneurs linéaires Eurorack pour le mouvement indépendant des positions du substrat ou de la cible - ainsi que d'une interface logicielle pour le contrôle précis de tous les paramètres du processus. La chambre offre également un positionneur supplémentaire pour les substrats en rotation pour les maintenir dans la zone de traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 La chambre Loadlock présente de nombreuses caractéristiques et accessoires utiles, tels qu'une barre de capteur pour la mesure thermique de 1/4 de pi, une unité de dépôt active d'électrons, une source d'irradiation UV et un déflecteur de pulvérisation d'ions. Le système comprend également une chambre de transfert à verrouillage de charge, un joint de séparation multi-axes et un bouclier Faraday pour une exposition précise des plaquettes. De plus, la chambre peut être intégrée à une variété d'outils de diagnostic avancés, tels qu'une unité d'imagerie à cellules vivantes, un spectromètre à émission optique ou un spectromètre Raman, ainsi qu'un profileur 3D. La machine est capable de supporter une large gamme de tailles et d'épaisseurs de substrat. Il est équipé d'une électronique de contrôle de mouvement ultra-haute précision et a la possibilité de stocker jusqu'à 25 paramètres manuels pour une configuration et un étalonnage faciles des paramètres de travail. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Loadlock chamber offre un procédé fiable, précis et reproductible pour tout type de préparation de substrat.