Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Olympia #9293600 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Olympia est un réacteur de pointe conçu pour le dépôt de couches minces dans la fabrication d'IC et les applications de semi-conducteurs. Il est basé sur le moteur d'application de base propriétaire AMAT appelé Atomic Layer Deposition Technology (ALD). Le réacteur AMAT Olympia est composé de deux réacteurs concentriques reliés par un volume vertical en phase gazeuse contenant une buse brevetée en rotation quad-pin. Chaque réacteur occupe un quart du volume en phase gazeuse, tandis que la buse quad-pin assure une vitesse de dépôt et une uniformité uniformes sur toute la surface du substrat, ainsi qu'une distribution efficace en phase gazeuse. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Olympia est capable de déposer une variété de matériaux, dont les oxydes métalliques, le soufre, l'azote, le chlore, le bore et d'autres matériaux à haute teneur en diélectrique. Le taux de dépôt uniforme et l'uniformité sont conçus pour assurer un processus reproductible pour chaque application. La buse quad-pin rotative permet un contrôle précis du processus de dépôt avec des paramètres réglables incluant l'angle de la buse, la vitesse de la buse, la concentration en phase gazeuse et la vitesse de balayage. Le contrôle précis du dépôt est encore renforcé par la surveillance automatisée de la pression de gaz du réacteur. Cela permet d'obtenir les résultats les plus cohérents possibles. Le réacteur Olympia dispose également d'une gestion thermique automatisée avancée. Cette caractéristique permet un contrôle précis du processus de chauffage du substrat, assurant un dépôt prévisible. La gestion thermique automatisée aide à réduire les défauts, ainsi que la possibilité de dommages thermiques pendant le processus de dépôt. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Olympia est équipé d'un système intégré de distribution en vrac de gaz qui utilise de l'azote haute pression pour assurer un contrôle de croissance supérieur. L'azote à haute pression assure une vitesse de dépôt constante et est essentiel pour des applications nécessitant des résultats plus précis. Le réacteur offre également des capacités d'auto-centrage, ce qui facilite le centrage du substrat et réduit les risques de dommages dus au désalignement. Le réacteur AMAT Olympia est un système de dépôt polyvalent utilisé dans l'industrie, la recherche et d'autres applications. Sa fiabilité et sa répétabilité en font un excellent choix pour des processus de dépôt répétables et à long terme. Sa manipulation thermique avancée assure un contrôle précis de la température, des taux de dépôt prévisibles et une uniformité. Le système avancé de distribution de gaz en vrac assure une concentration constante en phase gazeuse, assurant un excellent contrôle du processus de dépôt de divers matériaux.