Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark I #9313267 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I, communément appelé AMAT P5000 Mark I, est un outil à haut débit de grande capacité conçu pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 Mark I est capable de traiter à la fois les petites et les grandes tailles de substrats, ce qui en fait une solution idéale pour le développement de procédés et les applications de recherche. La configuration de base se compose d'un équipement entièrement automatisé de distribution de réactifs CVD, d'un porte-substrat de 40 ", de deux boîtes à gaz pour contrôler le débit du procédé, d'une chambre de réaction et d'une élévation verticale à commande pneumatique. P5000 Mark I dispose d'un nouveau système intégré de collecte de données pour la surveillance et le contrôle avancés des processus, ainsi que d'un large éventail d'outils de diagnostic pour le dépannage et l'optimisation des processus. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark I est équipé d'une unité de distribution de gaz qui permet de contrôler plusieurs gaz. La livraison des gaz de procédé est gérée à travers les deux boîtes à gaz, qui peuvent être séquencées pour fournir des résultats répétables. Les boîtes à gaz peuvent accueillir jusqu'à 16 gaz différents, qui sont ensuite écoulés à travers la chambre de réaction à l'aide d'un régulateur de débit massique. La chambre de réaction est une chambre cylindrique garnie d'acier inoxydable d'un diamètre de 20 ". Il est capable de températures jusqu'à 1000 ° C et pression à 10 Torr, avec une capacité de 11 "wafer. La chambre de réaction est purgée par une machine unique de purge des impulsions qui maximise l'uniformité des gaz de procédé. AMAT P5000 Mark I dispose également d'une élévation verticale, qui ajuste le niveau de la plaquette sur la chambre de réaction pour améliorer l'uniformité et la stabilité des paramètres du processus. Il est piloté par un outil pneumatique, et peut être automatisé pour des résultats répétables. En outre, il peut être équipé d'un générateur RF optionnel pour les processus qui nécessitent de l'énergie RF. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 Mark I est un outil sophistiqué doté de technologies avancées qui permettent un traitement CVD fiable et précis. Il offre une solution efficace pour le développement de procédés et des applications de recherche, permettant la production de matériaux en couches minces de haute qualité. La collecte de données intégrée améliore le contrôle des processus, et les outils de diagnostic prennent en charge l'optimisation et le dépannage.