Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9086795 à vendre en France
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Vendu
ID: 9086795
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Poly Si Etcher, 8"
(3) Chambers
Clamp type
Gas: SF6, Cl2, HBr, CF4, He, 02
Currently warehoused
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II est un réacteur professionnel à grande échelle utilisé pour le dépôt chimique de couches minces et d'autres matériaux. Il est utilisé dans la fabrication de matériaux semi-conducteurs et d'autres composants de circuits intégrés. AMAT P5000 Mark II est un équipement pas à pas avec deux têtes indépendantes, chacune contenant deux fentes pour jusqu'à 4 chambres de traitement. Chaque fente peut loger jusqu'à 3 chambres pour accueillir une variété de processus, y compris le dépôt de couches minces et la gravure. L'architecture à double tête permet une grande flexibilité lors de la configuration du système. Le Mark II dispose d'un bloc-charge d'une taille maximale de 12 pouces. Il dispose d'une machine de transfert automatique qui peut déplacer les plaquettes entre les fentes dans un processus en une seule étape. La conception modulaire de l'outil permet une mise à niveau et une reconfiguration faciles, donnant à l'utilisateur une flexibilité accrue. Le Mark II dispose d'une chambre de serrure à vide, qui maintient une pression de processus allant jusqu'à 10-3 Torr en utilisant seulement quelques millitorr pompes, ce qui le rend idéal pour des applications exigeantes telles que le dépôt de couche atomique. L'actif offre également un modèle d'évacuation et d'aération pour permettre un contrôle rapide de l'atmosphère du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 MARK II utilise un panneau de gaz, qui peut supporter plusieurs sources de gaz. Le panneau de gaz dispose également d'un échangeur de chaleur intégré pour le contrôle de la température, permettant un réglage en temps réel du mélange de gaz pour un contrôle optimal du processus. En outre, l'équipement dispose d'un ensemble de traversées électriques avancées pour configurer des entrées/sorties individuelles et des alimentations électriques indépendantes pour chaque ligne. Le système est équipé d'une unité de contrôle intuitive basée sur Windows, offrant une configuration et un contrôle faciles de diverses fonctionnalités. En outre, le Mark II fournit des recettes intégrées pour rationaliser le développement des processus et les opérations subséquentes. En termes de sécurité, la machine dispose d'un outil de verrouillage de sécurité pour empêcher toute opération accidentelle et d'un interrupteur d'arrêt d'urgence. De plus, les capacités ESDS de l'actif protègent la chambre de processus contre les défauts au sol et offrent une protection supplémentaire à tous les travailleurs dans les environs. Globalement, AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II est un modèle de réacteur très avancé et fiable, idéal pour le dépôt chimique de couches minces et d'autres matériaux. Avec sa chambre de serrure à vide, sa conception modulaire, son équipement de transfert automatisé et ses fonctions de sécurité intégrées, le P 5000 MARK II offre aux utilisateurs un contrôle, une précision et une flexibilité accrus pour leurs besoins de dépôt de couches minces.
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