Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9210742 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II est un réacteur de traitement semi-conducteur conçu pour la fabrication de plaquettes de 200 mm. Il utilise un réchauffeur infrarouge qui permet un cyclage thermique rapide à haute température pour divers procédés dont le recuit, l'oxydation et le dépôt. La chambre est configurée avec deux zones et chambres fendues, permettant un contrôle indépendant de la température dans les deux zones. La conception modulaire offre une continuité d'un processus à l'autre, permettant une intégration facile et l'optimisation des processus. Le Mark II a également la possibilité d'une chambre de gravure à haut rapport d'aspect. Le Mark II utilise le contrôle de pression de chambre avec une pression totale du système et un contrôle de température de 1000-5000 Torr. La chimie du procédé est fournie par la source de double plasma, le plasma d'échappement in situ et la gestion de la chimie des gaz. Le contrôleur comprend un système de diagnostic intégré pour garantir les résultats de la plus haute qualité et la reproductibilité. Le Mark II intègre une variété d'avancées matérielles et logicielles, y compris le générateur RF pour le contrôle multifréquence, Auto Tune pour la stabilité de la température et de la pression, conducteur intelligent pour la compensation de la dérive de la température et électrode intelligente pour une meilleure efficacité RF. Cela permet au Mark II d'obtenir des rendements plus élevés, des tolérances de processus plus strictes et une uniformité thermique améliorée. Le logiciel inclus avec le Mark II fournit également des fonctionnalités avancées, y compris la surveillance du flux de processus, l'ordonnancement des recettes et l'optimisation des paramètres. Enfin, le Mark II dispose d'un robot triple axe intégré, permettant un chargement et un déchargement aisés des plaquettes. AMAT a conçu la Mark II comme une option économique et efficace pour la fabrication de plaquettes de 200mm. Avec ses caractéristiques avancées et ses performances fiables, AMAT P5000 Mark II est un choix idéal pour le traitement des semi-conducteurs.