Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9288010 à vendre en France
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Vendu
ID: 9288010
Taille de la plaquette: 6"-8"
CVD System, 6"-8"
Mainframe
(2) UNIVERSAL TEOS or nitrtide chambers
8 Slot storage elevator
Remote frame
Vacuum pumps.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II est un outil avancé de gravure de plasma utilisé pour produire des circuits précis, des affichages et d'autres composants micro-échelle. Conçue avec précision et souplesse, AMAT P5000 Mark II est capable de fabriquer des formes, des motifs et des séquences extrêmement complexes avec des rendements élevés et une qualité fiable. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P 5000 MARK II est construit sur la plate-forme éprouvée du P5000. Il s'agit d'un dispositif monobloc, acceptant 150mm ou 200mm, avec un facteur de forme maximum de 8 « x 8 ». Il a une conception avancée de chambre de processus, qui fournit une uniformité thermique de haut niveau pour des profils de gravure uniformes. La chambre est livrée avec un équipement d'injection de quartzgas double source, permettant un contrôle de processus supérieur pour différentes exigences de gravure. Le système dispose également d'une doublure en céramique pour une meilleure adhérence et une livraison fiable en chimie. Le processus de gravure est piloté par l'unité de contrôle E-Flex, un logiciel convivial puissant qui permet un contrôle précis de l'étalonnage, des taux de gravure, de la température, de la livraison de gaz et des paramètres de processus. La machine de contrôle E-Flex fournit à l'opérateur une rétroaction en temps réel de toutes les variables de processus permettant un réglage précis du processus pour garantir des rendements maximaux et une qualité de produit optimale. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II fonctionne à des densités de courant ionique élevées, jusqu'à 350A/cm2 avec une plage de processus répétable comprise entre 500-5000W. Cela garantit une forte pénétration pour les profilés de gravure profonds avec des temps de processus rapides. Il offre également une uniformité sur toute la surface de la plaquette avec une résolution jusqu'à 10 microns de profondeur et des cycles répétables de gravure d'oxyde sur 1 mm de profondeur. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 L'outil Mark II est équipé de dispositifs de sécurité tels qu'un wafer-probe, un outil de verrouillage automatisé et un moniteur de pression. Ensemble, ils assurent un fonctionnement ininterrompu et sûr avec un risque minimal de blessure de l'opérateur. Il dispose de plusieurs fonctionnalités supplémentaires, telles qu'un verrouillage de charge 200-400Kg, des moniteurs de température et des moyens de suivi intégrés, permettant d'améliorer la précision et l'uniformité des processus. Il est également certifié avec plusieurs normes réglementaires industrielles, telles que NRTL/C, CE et UL. Globalement, le P 5000 MARK II est un outil très efficace et précis, capable de produire des structures et des composants très complexes avec une grande fiabilité et précision. C'est l'un des systèmes de gravure les plus avancés sur le marché, parfait pour la fabrication de circuits et l'assemblage de micropuces.
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