Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9389403 à vendre en France
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ID: 9389403
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Cassette indexer, 6" Clamp
8-Slots elevator
(2) CRT Monitors
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
Electrical controller
Nupro bellows valve
EMO Option: Turn to release
EMO Button guard rings
(4) ENI OEM-12A RF Generators
HX Seperate mani fold
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green, blue
Signal cable: 25"
Flash Hard Disk Drive (HDD)
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Mini-controller
Electrical controller:
(2) TC Gauge boards
Power rack, 12 VDC; (2) 15 VDC
Buffer I/O board
(2) Opto I/O boards
(4) Chopper driver power racks
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-07
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(4) Matchers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: SEC 4400MC
Manual valve: Fujikin
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
(4) Pumping plates
(4) Ceramic focus rings
(4) Shower heads
(4) Blocker plates
(4) Heater windows
(4) Bellows susceptors
(4) Bellows wafer lifts
VME Controller:
1 / SBC Board
2 / SV21 SBC Board
3 / SEI Board
6 / VGA
7 / AO-1
8 / AI-1
9-12 / Stepper control board
13-16 / Digital I/O board
17 / -
19-20 / -
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Le réacteur Mark II est un outil de production de haute technologie et à haut rendement pour une gamme de procédés de fabrication et de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à la technologie de recuit à ultra-haut vide (UHV) et à un puissant équipement de contrôle de mouvement 5 axes, le réacteur AMAT P5000 Mark II est conçu pour obtenir des résultats précis et reproductibles tout en fonctionnant dans une large gamme d'atmosphères de production. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur P 5000 MARK II est un système de recuit UHV en ligne à cinq zones, chaque zone étant contrôlée et optimisée de manière indépendante pour permettre une performance optimale du réacteur. Les trois zones thermiques sont simultanément contrôlées en température et purifiées par la chimie plasma hélium/oxygène/hydrogène. De plus, l'environnement UHV crée un environnement inerte exempt d'espèces moléculaires qui peut introduire des non-uniformités dans les résultats. Le réacteur P 5000 MARK II est conçu pour obtenir la plus grande répétabilité et reproductibilité des résultats du procédé. L'unité de contrôle de mouvement 5 axes ajuste automatiquement les paramètres de traitement, tandis que les algorithmes de contrôle fournissent des résultats de traitement cohérents et hautement reproductibles. Le réacteur AMAT P 5000 MARK II utilise un certain nombre de caractéristiques avancées pour réduire le budget thermique, tout en veillant à ce que les résultats du processus soient répétables et uniformes. Des caractéristiques spécialisées telles que le traitement en chambre, une machine automatique de distribution de gaz, une atmosphère inerte et une source intégrée de plasma à couplage inductif (ICP) permettent d'optimiser les performances de la chambre. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS P 5000 MARK II grand 4,7 litres chambre de procédé et conception de tube en verre quartz assurer le transport efficace des matériaux de procédé. La chambre est construite pour maximiser l'uniformité des procédés, les parois réfléchissantes assurant une couverture uniforme de la chambre pour les procédés de recuit thermique et de plasma. Avec la construction en acier inoxydable, la chambre offre une structure robuste et durable avec des caractéristiques de température et de choc thermique adaptées à des temps de processus plus longs. MATÉRIEL APPLIQUÉ P5000 Mark II est une solution de processus automatisé, avec une bibliothèque de développement de recettes automatisées, un outil de contrôle et de contrôle intégré, et un actif de contrôle avancé. Le logiciel intuitif permet aux utilisateurs de créer, modifier et télécharger des recettes rapidement et facilement. Le modèle intégré de surveillance et de contrôle fournit à l'utilisateur une surveillance des processus en temps réel, ce qui lui permet d'apporter des corrections précises à son processus si nécessaire. P5000 Le réacteur Mark II est un outil puissant, précis et fiable adapté à un large éventail de procédés. Son contrôle de la température et du mouvement de précision, son logiciel intuitif et sa construction robuste en font un choix idéal pour les environnements de production.
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