Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #186745 à vendre en France
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ID: 186745
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Metal etch system, 6"
(2) Metal chamber
(1) ASP chamber
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactor est une chambre de dépôt physique en phase vapeur avancée (PVD) conçue pour l'industrie des semi-conducteurs. AMAT P5000 MxP utilise une technologie innovante pour fournir des performances de dépôt supérieures, maximisant le débit des plaquettes et le contrôle des processus avec une intervention manuelle minimale. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 MxP est équipé d'une puissante source de tête de douche unique, permettant d'envoyer jusqu'à six sources de matériaux distinctes au substrat simultanément tout en continuant à fournir une excellente uniformité de processus. La chambre a une conception de chambre de chargement ouverte, permettant d'accueillir toute la gamme de substrats, de formes et de tailles. En outre, la chambre incorpore un ascenseur à deux niveaux qui soulève facilement les substrats jusqu'à 12 pouces de diamètre. L'équipement avancé de contrôle de processus de P5000 MxP assure un contrôle de processus supérieur et l'uniformité. Avec son contrôle plasma multi-points, l'utilisateur est en mesure de contrôler jusqu'à huit sources de gaz différentes pour maintenir un environnement plasma précis. De plus, la gestion des recettes de processus permet d'accéder facilement, de stocker ou de répliquer jusqu'à 100 recettes. Chaque aspect d'AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est conçu en fonction de l'utilisateur. Par exemple, le système de chasse d'eau automatique chasse constamment la chambre de processus principale, recueillant et éliminant les particules et les contaminants pour assurer des performances optimales et des plaquettes sans particules. Le contrôle précis du procédé d'AMAT P5000 MxP permet également une caractérisation rapide des conducteurs et des diélectriques, ainsi qu'une optimisation précise du processus de dépôt pour des rendements améliorés. Pour une sécurité accrue et des performances de processus, APPLIED MATERIALS P5000 MxP intègre une unité avancée de détection des fuites de bord. Cette machine détecte et affiche les fuites de plasma du bord de la chambre, ce qui augmente la marge de sécurité. En conclusion, P5000 MxP offre une combinaison inégalée de performance et de contrôle de processus soutenue par un design robuste et fiable. En combinant sa source de douche avancée et sa gestion rapide des recettes, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP offre une excellente vitesse et une uniformité de processus pour les plaquettes de haute qualité.
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