Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #293615042 à vendre en France
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ID: 293615042
Poly etcher
(2) MxP Chambers
ESC Chuck
Endpoint
Gate valve
Throttle valve
EDWARDS C301 Turbo pump
AMAT-0 Heat exchanger
OEM-12B RF Generator.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP + est un système de réacteur multi-chambres qui utilise un loadlock continu pulsé (PCL), un recuit de lampe flash (FLA) et un processus de balayage 3D pour fabriquer des appareils électroniques avancés. Il offre également un accès facile aux paramètres de traitement et supporte plusieurs étapes de processus parallèles. AMAT P5000 MxP + a un PCL de 42 cm x 24 cm qui permet un chargement et un déchargement rapides des substrats pour les processus à haute température et ultraclean. Il utilise un port de chargement intégré et des micro-contrôleurs embarqués pour un contrôle précis du processus, permettant un contrôle serré de l'oxygène et de l'humidité pendant la manipulation du substrat. Le recuit Flash Lamp (FLA) utilise une impulsion ultra-courte d'énergie lumineuse pour délivrer un recuit à haute énergie sans avoir à chauffer extérieurement le substrat. Ce procédé permet d'obtenir une tolérance étroite des paramètres critiques du processus tels que la température, le temps de recuit et la propagation de l'énergie tout en maintenant un bon contrôle auto-aligné. Le processus de balayage 3D fournit une imagerie bidimensionnelle haute résolution de la surface du substrat. Il est capable de cartographier la surface en 3D à l'aide d'une caméra proche de l'infrarouge qui aide à identifier rapidement les défauts, à analyser les contours et à mesurer les caractéristiques. Cela permet un développement plus efficace des procédés et la caractérisation des substrats. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 MxP + est équipé d'un logiciel qui prend en charge le transfert électronique de recettes, le contrôle du four, la surveillance des chambres, le suivi de la production et l'enregistrement des données. Cela permet d'automatiser le processus et de contrôler en temps réel les paramètres critiques du processus. En outre, le système d'écran tactile numérique offre un accès facile aux paramètres de processus avec des opérations en une seule étape. Cela garantit un traitement rapide, précis et précis. P5000 MxP + est un système de réacteur multi-chambres avancé conçu pour fournir un contrôle précis dans la fabrication de dispositifs avancés. Avec sa technologie Flash Lamp Anneal, son procédé de balayage 3D et son logiciel convivial, il convient à la fois à la recherche et à l'industrie.
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