Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9017018 à vendre en France
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Vendu
ID: 9017018
Cluster tool, 8"
(2) Chambers
(8) Storage units
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MxP / Oxide etch
Position B: MxP / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Gas Panel Pallet:
(5) Insert gas lines per chamber
MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-4400
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Chamber B:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Mainframe:
Loadlock type: 8-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak detector
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLABE HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est un réacteur conçu pour finir la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'outil est un outil de dépôt épitaxié très polyvalent, permettant le dépôt de couches minces à des températures de substrat élevées. L'outil est capable de déposer à l'aide de sources multiples avec une technologie multi-zones propriétaire qui améliore l'uniformité en créant de meilleurs rendements de plaquettes. La technologie de source de pointe réduit les fluctuations de puissance et de température assurant une meilleure qualité et répétabilité du film. La flexibilité supérieure de l'outil permet aux utilisateurs de déposer sur un large éventail de matériaux, y compris les oxydes, les nitrures, les métaux et leurs combinaisons. De plus, l'outil permet une plage d'épaisseur de film, allant de la sous-monocouche à plusieurs centaines de nanomètres. La capacité de manipuler des paramètres tels que la température, le débit de pression et la puissance permet aux utilisateurs d'adapter leur processus de dépôt. AMAT P5000 MxP est équipé d'un équipement propriétaire à ultra-haute dépression qui réduit les particules et les contaminants dans le système et augmente la productivité. Le procédé avancé de dépôt en ligne de visée offre une meilleure qualité que les systèmes de dépôt classiques en créant une chambre complètement scellée et en réagissant aux lasers à l'intérieur de celle-ci. Cela aide à améliorer le contrôle, la stabilité et la répétabilité. L'outil dispose également de logiciels avancés de contrôle des processus permettant aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour la rapidité et l'efficacité. APPLIED MATERIALS P5000 MxP dispose également d'une surveillance et d'un diagnostic robustes, contribuant à accroître la fiabilité et à prédire les performances. Grâce à des fonctions de surveillance avancées, l'outil peut détecter les problèmes pouvant découler des paramètres de dépôt, de la pression atmosphérique ou de toute autre situation anormale, ce qui permet aux opérateurs de s'y attaquer rapidement. Dans l'ensemble, P5000 MxP est un outil de dépôt fiable et performant qui permet aux utilisateurs de satisfaire aux exigences strictes de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil offre une flexibilité supérieure, une qualité et une fiabilité améliorées, un rendement accru et un contrôle avancé des processus. Avec sa technologie multi-zones de pointe et sa machine à vide ultra-haute, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est le choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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