Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9017018 à vendre en France

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ID: 9017018
Cluster tool, 8" (2) Chambers (8) Storage units General Information: Cass nest: Plastic 8" Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat) No SMIF Interface System Information: Software version: B4.70 Has SECS / GEM Chamber Location / Type / Current Process: Position A: MxP / Oxide etch Position B: MxP / Oxide etch Etch chamber: Chamber type: MxP Wafer clamp: Polyimide ESC Has BS He Cooling Has He dump line Turbo pump: SEIKO STP-301CVB Endpoint type: Stand alone Monochrometer qty: Each per chamber Generator model: ENI OEM-12B3 Max Power: 1250 w Lid temp control: PID control Gate valve: Heated gate valve Matcher: SMA-1000 Process Manometer: MKS 1 Torr Gas Panel: Manual valve: On each line Filter: On each line Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed Exhaust: Top Has gas panel door interlock Has gas panel exhaust interlock Gas Panel Pallet: (5) Insert gas lines per chamber MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX Chamber A: Line 1: O2 / 212 / SEC-4400 Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX Line 3: N2 / 100 / SEC-4400 Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400 Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX Chamber B: Line 1: O2 / 212 / SEC-4400 Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400 Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX Mainframe: Loadlock type: 8-slot Has cassette present sensor Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT EMO Button: Front, side Has water leak detector Signal tower (front): Green, yellow, red Remotes: Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V System monitor display / conntroller: In front Has EMO button Has smoke detector Has water leak detector Heat Exchanger type: For wall: AMAT-0 x1 For cathode: NESLABE HX-150 x1 Pumps Type: LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope) Chamber A: EBARA A30W (not included in scope) Chamber B: EBARA A30W (not included in scope) 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est un réacteur conçu pour finir la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'outil est un outil de dépôt épitaxié très polyvalent, permettant le dépôt de couches minces à des températures de substrat élevées. L'outil est capable de déposer à l'aide de sources multiples avec une technologie multi-zones propriétaire qui améliore l'uniformité en créant de meilleurs rendements de plaquettes. La technologie de source de pointe réduit les fluctuations de puissance et de température assurant une meilleure qualité et répétabilité du film. La flexibilité supérieure de l'outil permet aux utilisateurs de déposer sur un large éventail de matériaux, y compris les oxydes, les nitrures, les métaux et leurs combinaisons. De plus, l'outil permet une plage d'épaisseur de film, allant de la sous-monocouche à plusieurs centaines de nanomètres. La capacité de manipuler des paramètres tels que la température, le débit de pression et la puissance permet aux utilisateurs d'adapter leur processus de dépôt. AMAT P5000 MxP est équipé d'un équipement propriétaire à ultra-haute dépression qui réduit les particules et les contaminants dans le système et augmente la productivité. Le procédé avancé de dépôt en ligne de visée offre une meilleure qualité que les systèmes de dépôt classiques en créant une chambre complètement scellée et en réagissant aux lasers à l'intérieur de celle-ci. Cela aide à améliorer le contrôle, la stabilité et la répétabilité. L'outil dispose également de logiciels avancés de contrôle des processus permettant aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour la rapidité et l'efficacité. APPLIED MATERIALS P5000 MxP dispose également d'une surveillance et d'un diagnostic robustes, contribuant à accroître la fiabilité et à prédire les performances. Grâce à des fonctions de surveillance avancées, l'outil peut détecter les problèmes pouvant découler des paramètres de dépôt, de la pression atmosphérique ou de toute autre situation anormale, ce qui permet aux opérateurs de s'y attaquer rapidement. Dans l'ensemble, P5000 MxP est un outil de dépôt fiable et performant qui permet aux utilisateurs de satisfaire aux exigences strictes de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil offre une flexibilité supérieure, une qualité et une fiabilité améliorées, un rendement accru et un contrôle avancé des processus. Avec sa technologie multi-zones de pointe et sa machine à vide ultra-haute, AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est le choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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