Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037735 à vendre en France
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Vendu
ID: 9037735
Style Vintage: 1992
Cluster tool with 2-chamber, 8"
General Information:
Cass nest: Plastic 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
No SMIF Interface
System Information:
Software version: B4.70
Has SECS / GEM
Chamber Location / Type / Current Process:
Position A: MxP / Oxide etch
Position B: MxP / Oxide etch
Etch chamber:
Chamber type: MxP
Wafer clamp: Polyimide ESC
Has BS He Cooling
Has He dump line
Turbo pump: SEIKO STP-301CVB
Endpoint type: Stand alone
Monochrometer qty: Each per chamber
Generator model: ENI OEM-12B3
Max Power: 1250 w
Lid temp control: PID control
Gate valve: Heated gate valve
Matcher: SMA-1000
Process Manometer: MKS 1 Torr
Gas Panel:
Manual valve: On each line
Filter: On each line
Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed
Exhaust: Top
Has gas panel door interlock
Has gas panel exhaust interlock
Gas Panel Pallet:
(5) Insert gas lines per chamber
MFC Type: STEC SEC-44000 MC / STEC SEC-Z512MGX
Chamber A:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-4400
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Chamber B:
Line 1: O2 / 212 / SEC-4400
Line 2: Ar / 150 / SEC-Z512MGX
Line 3: N2 / 100 / SEC-7440M
Line 4: CF4 / 100 / SEC-4400
Line 5: CHF3 / 100 / SEC-Z512MGX
Mainframe:
Loadlock type: 8-slot
Has cassette present sensor
Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT
EMO Button: Front, side
Has water leak detector
Signal tower (front): Green, yellow, red
Remotes:
Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC
Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V
System monitor display / conntroller: In front
Has EMO button
Has smoke detector
Has water leak detector
Heat Exchanger type:
For wall: AMAT-0 x1
For cathode: NESLABE HX-150 x1
Pumps Type:
LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope)
Chamber A: EBARA A30W (not included in scope)
Chamber B: EBARA A30W (not included in scope)
1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est un réacteur de fabrication de semi-conducteurs conçu pour un large éventail de procédés. C'est un outil très avancé et à haut débit conçu pour maximiser le débit et minimiser les temps d'arrêt. La flexibilité modulaire de conception et d'automatisation d'AMAT P5000 MxP facilite le développement rapide des processus et leur optimisation, permettant des cycles de production plus courts avec des rendements plus élevés. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 MxP dispose d'une chambre de pression et de température contrôlée avec précision, d'une source de plasma optimisée et de systèmes automatisés de surveillance des processus et de détection des défauts. La chambre de pression a été précisément conçue pour assurer des résultats de processus cohérents en maintenant des niveaux de température, de pression et d'oxygène stables. Une source de plasma agile à haute puissance est également incluse, assurant un contrôle précis du flux du procédé. P5000 Le système automatisé de suivi des processus et de détection des pannes de MxP permet aux utilisateurs d'ajuster leurs paramètres de processus en temps réel et d'obtenir des informations à jour sur l'état de leur processus. Cela permet aux utilisateurs d'identifier rapidement les problèmes potentiels et de prendre des mesures correctives avant de causer des retards importants dans leur processus de production. AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est supporté par une suite logicielle facile à utiliser avec une variété de fonctionnalités pour la gestion et la surveillance des conditions de processus ainsi que la création de visualisations. La suite logicielle prend en charge l'analyse et le reporting des données ainsi que la création de recettes, la surveillance des processus en temps réel et la détection automatique des erreurs. De plus, le système automatisé permet aux utilisateurs de gérer efficacement leur processus de production et d'ajuster rapidement les paramètres pour atteindre les objectifs du processus. AMAT P5000 MxP est un système de réacteur hautement avancé, performant et très flexible conçu pour un large éventail de procédés. Les fonctionnalités d'ingénierie de précision et de gestion automatisée des processus d'APPLIED MATERIALS P5000 MxP permettent aux utilisateurs de développer et d'optimiser leurs processus rapidement, de maximiser leur débit et de réduire leurs temps d'arrêt. Avec l'aide de systèmes et de logiciels très avancés, P5000 MxP est le choix idéal pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs fiables et efficaces.
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