Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9037741 à vendre en France

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ID: 9037741
Cluster tools with 2-chamber, 8" General Information: Cass nest: Plastic 8" Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat) No SMIF Interface System Information: Software version: B4.70 Has SECS / GEM Chamber Location / Type / Current Process: Position A: MarkII / Oxide etch Position B: MarkII / Oxide etch Etch chamber: Chamber type: MxP Wafer clamp: Polyimide ESC Has BS He Cooling Has He dump line Turbo pump: SEIKO STP-301CVB Endpoint type: Stand alone Monochrometer qty: Each per chamber Generator model: CH-A:ENI OEM-12A CH-B:ENI OEM-12B-02 Max Power: 1250 w Lid temp control: PID control Gate valve: Heated gate valve Matcher: SMA-1000 Process Manometer: MKS 1 Torr Gas Panel: Manual valve: On each line Filter: On each line Gas panel facilities hook up: Multi-line top feed Exhaust: Top Has gas panel door interlock Has gas panel exhaust interlock Has gas panel remote mini-controller Gas Panel Pallet: MFC type: 8-lines per chamber Gas line (gas name, MFC size): STEC SEC-4400MC / STEC SEC-Z512MGX Chamber A: Line 1: CHF3/100/SEC-4400 Line 2: O2/40/SEC-4400 Line 3: CH2F2/30/SEC-4400 Line 4: CF4/100/SEC-4400 Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX Line 6: HBr/200/SEC-4400 Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400 Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400 Chamber B: Line 1: CHF3/100/SEC-4400 Line 2: O2/40/SEC-4400 Line 3: CH2F2/30/SEC-4400 Line 4: CF4/100/SEC-4400 Line 5: NF3/100/SEC-Z512MGX Line 6: HBr/200/SEC-4400 Line 7 (remote): CI2/50/40/SEC-4400 Line 8 (remote): Ar/100/40/SEC-4400 Mainframe: Loadlock type: 29-slot Has cassette present sensor Robot type: DRIVE, ROBOT P 5000 WKIT EMO Button: Front, side Has water leak button Signal tower (front): Green, yellow, red Remotes: Line frequency and voltage: 50 / 60 Hz, 3 Ph, 208 VAC Remote UPS interface: 1 Ph, 120 V System monitor display / conntroller: In front Has EMO button Has smoke detector Has water leak detector Heat Exchanger type: For wall: AMAT-0 x1 For cathode: NESLAB HX-150 x1 Pumps Type: LL Chamber: EBARA A10S (not included in scope) Chamber A: EBARA A30W (not included in scope) Chamber B: EBARA A30W (not included in scope) 1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactorm est un outil économique et volumique pour le développement de la technologie des procédés. Le réacteur est capable de produire une grande variété de matériaux avancés, y compris la céramique et les métaux, à haut rendement avec un faible coût. La caractéristique centrale du réacteur est sa conception modulaire, qui permet de le personnaliser pour différentes applications et procédés. Le réacteur AMAT P5000 MxP est conçu pour fournir aux utilisateurs des niveaux optimaux de température, de pression et de contrôle de composition tout en permettant une flexibilité de réaction des matériaux. Le réacteur est capable de manipuler des températures allant jusqu'à 500 ° C et des pressions allant jusqu'à 5 bars. Il dispose de ports supérieurs et inférieurs pour l'entrée et la sortie du gaz, avec des systèmes d'aération spéciaux pour une meilleure circulation de l'air. Le réacteur dispose également de zones de chauffage réglables pour faciliter un contrôle précis des températures et des paramètres de réaction. MATÉRIAUX APPLIQUÉS P5000 La conception modulaire du réacteur MxP permet d'ajouter facilement du matériel et des logiciels, permettant un routage optimal des processus. Le réacteur peut être intégré à une variété de capteurs, de pompes et d'autres composants nécessaires à une production en volume efficace. En outre, le réacteur est conçu avec plusieurs systèmes de contrôle et de surveillance, y compris des réactions contrôlées par ordinateur, la collecte et l'analyse automatisées de données. Pour maximiser la performance de réacteur de P5000 MxP, le réacteur est souvent couplé avec les processeurs secondaires tels que les cellules électrochimiques, les chambres de déposition de vapeur et les unités de gravure à l'eau forte de plasma. Le réacteur dispose également d'une vaste bibliothèque de modèles de matériaux, permettant une commutation rapide du produit final désiré. Ceci est particulièrement avantageux lorsqu'il est utilisé en liaison avec des technologies de procédé telles que le dépôt chimique en phase vapeur, la pulvérisation et la gravure ionique réactive. Dans l'ensemble, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP est un outil fiable et rentable pour le développement et la fabrication de matériaux avancés. La conception modulaire du réacteur et la grande variété de caractéristiques permettent aux utilisateurs d'ajuster et d'étendre le système pour leur application spécifique, avec des caractéristiques telles que la température précise et le contrôle de la composition permettant un meilleur contrôle du processus, une meilleure qualité du produit et une plus grande polyvalence.
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